真空5項步進電機，φ60mm和120mm的Optosigma真空自動旋轉平臺

VSGSP真空滑臺是一款真空用的自動旋轉平臺。VSGSP-60YAW是直徑60mm的小型真空步進電機平臺，適用于實驗或檢查裝置；還有直徑120mm的真空電動平臺VSGSP-120YAW。Optosigma真空自動旋轉平臺VSGSP-120YAW上配備了限位傳感器，厚度小，承載能力大（選用了□42mm的大型電機）。

Optosigma真空自動旋轉平臺VSGSP-120YAW和VSGSP-60YAW在電機部位和極限位置傳感器部位，附有1m長的鍍有聚四氟乙烯層的電纜，可用于直接連線到真空電動平臺的真空腔插頭部位。

VSGSP-120YAW和VSGSP-60YAW除了臺面尺寸上的區別，在電機型號上也有所不同。真空步進電機平臺的電機型號分為TS3664N5(□24mm)和PK543V-NB(□42mm)，按大小分別適配VSGSP真空滑臺的φ60mm和φ120mm兩種規格的標準臺面。真空電動滑臺的電機步距角為0.72°。西格瑪光機真空電動旋轉滑臺的最大速度為20″/sec，分辨率整步0.005″，半步0.0025″，重復定位精度0.02″。真空電動滑臺VSGSP-60YAW的自重僅為0.45kg，承載能力29.4N，十分小巧輕便。真空電動平臺VSGSP-120YAW的自重為1.7kg，負載能力98N。

真空步進電機平臺VSGSP-120YAW和VSGSP-60YAW的技術指標：

Optosigma真空自動旋轉平臺/ Sigmakoki真空電動旋轉平臺的轉動范圍說明：

通常，我們將Sigmakoki真空電動旋轉平臺的CW方向的極限位置傳感器兼為原點傳感器使用了，以此位置為參考進行原點復位。西格瑪光機真空電動旋轉滑臺規定，以半步細分驅動，并采用MINI方式進行原點復位操作時的停止位置為刻度0度位置。