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  • 微波等離子化學氣相沉積系統

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  • 全自動ICPECVD等離子體化學氣相沉積系統

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  • ICPECVD等離子體化學氣相沉積系統

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  • 全自動PECVD等離子體化學氣相沉積系統

    NPE-4000（A）全自動PECVD等離子體化學氣相沉積系統: NM的PECVD能夠沉積高質量SiO2, Si3N4, 或DLC膜到Z大可達12" 的基片.淋...

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  • NPE-4000（M）PECVD等離子體化學氣相沉積系統

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  • NPE-3500 PECVD等離子體化學氣相沉積系統

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  • NPE-3000 PECVD等離子體化學氣相沉積系統

    NPE-3000 PECVD等離子體化學氣相沉積系統: NM的PECVD能夠沉積高質量SiO2, Si3N4, 或DLC膜到Z大可達12" 的基片.淋浴頭電極或...

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