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那諾中國(guó)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第11年

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揭秘微波等離子去膠機(jī)

時(shí)間:2022/8/23閱讀:1754
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主要用途:

MEMS壓力傳感器加工工藝中光刻膠批量處理;

去除有機(jī)或無機(jī)物,而無殘留;

去膠渣、深刻蝕應(yīng)用;

半導(dǎo)體晶圓制造中光刻膠及SU8工藝;

平板顯示生產(chǎn)中等離子體預(yù)處理;

太陽能電池生產(chǎn)中邊緣絕緣和制絨;

先進(jìn)晶片(芯片)封裝中的襯底清潔和預(yù)處理;

工作原理介紹:

  為了產(chǎn)生等離子,系統(tǒng)使用遠(yuǎn)程微波源。氧在真空環(huán)境下受高頻及微波能量作用,電離產(chǎn)生具有強(qiáng)氧化能力的游離態(tài)氧原子,它在高頻電壓作用下與光刻膠薄膜反應(yīng),反應(yīng)后生成的 CO2 和 H2O 通過真空系統(tǒng)被抽走。CF4 氣體可以達(dá)到更快速的去膠速率,尤其對(duì)于難以去除的光刻膠也具備出色的去除能力。

  在微波等離子體氛圍中,活性氣體被等離子化,將跟光刻膠產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),反應(yīng)生產(chǎn)的化合物通過真空泵被快速抽走,可以達(dá)到高效的去膠效果。該去膠機(jī)微波源為遠(yuǎn)程微波源,轟擊性的離子將被過濾掉之后微波等離子進(jìn)入到工藝腔室參與反應(yīng),因此可以實(shí)現(xiàn)無損的去膠。

NANO-MASTER微波等離子去膠機(jī)的優(yōu)勢(shì):

1)Downstream結(jié)構(gòu),等離子分布均勻;

2)遠(yuǎn)程微波,無損傷;

3)遠(yuǎn)程微波,支持金屬材質(zhì);

4)批處理,一次可支持1-25片;

5)微波等離子,可以深入1um以內(nèi)的孔隙進(jìn)行清洗;

6)光刻膠去除的方式為化學(xué)方式,而非物理轟擊,可實(shí)現(xiàn)等離子360度分布;

7)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),進(jìn)一步提高去膠的均勻性。

8) 腔體內(nèi)無電極,更高潔凈度;

9)微波波段無紫外排放,操作更安全;

10)高電子密度,去膠效率高。


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