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目錄:北京昊然偉業(yè)光電科技有限公司>>光學(xué)測量>>光學(xué)檢測>> 非接觸式測厚儀

非接觸式測厚儀
  • 非接觸式測厚儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
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  • 廠商性質(zhì) 代理商
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更新時(shí)間:2025-05-17 16:34:40瀏覽次數(shù):76評(píng)價(jià)

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應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
非接觸式測厚儀采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。可單次測量多層膜,最高可測 20 層。

Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度測量系統(tǒng)采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。測量原理:低相干邁克爾遜干涉儀  

非接觸式測厚儀

 

 


如圖所示:


Light Source(短相干光源)發(fā)出短相干光束,經(jīng)Beamsplitter分束成兩束光,這兩束光通過準(zhǔn)直儀聚焦到Measurement arm(測量臂)和Reference arm(參考臂)上;
在測量臂段,光束經(jīng)待測物前后兩表面反射產(chǎn)生兩束反射光;在參考臂段,光束被delay line(延遲線路)中的掃描參考鏡反射。
各反射光束經(jīng)光纖返回到Beamsplitter 中,此時(shí)掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發(fā)生干涉產(chǎn)生兩干涉信號(hào)經(jīng)探測器(光電二級(jí)管)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)再由顯示儀顯示。參考鏡位置可以準(zhǔn)確移動(dòng),當(dāng)干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時(shí),才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動(dòng),就可以 測量被測鏡的位置。

 

非接觸式測厚儀特點(diǎn)

1. 非接觸式、非破壞性; 
2. 實(shí)時(shí)在線測量或離線測量; 
3. 可單次測量多層膜,最高可測 20 層; 
4. 探針靈活配置,實(shí)現(xiàn)多個(gè)不同目標(biāo)測量 (最多可配8個(gè)探頭); 
5. 測試速度快(1s) 
6. 適用范圍廣 
 

非接觸式測厚儀性能參數(shù):

型號(hào)

OptiGauge® LT

OptiGauge II

OptiGauge EMS

測量范圍(n=1.5)

12μm to 3.3 mm

12µm to 12 mm

12µm to 35 mm

測量層數(shù)

1

20

20

絕對(duì)精度

±1μm

±0.1µm

±0.1µm

重復(fù)精度

1μm 1σ

0.1µm 1σ

0.1µm 1σ

掃描速率

50Hz

50Hz,100Hz 和200Hz可選

20Hz

光源

1310nm SLED

45nm wide

1310nm SLED

45nm wide

1310nm SLED

45nm wide

測量頭工作距離

25mm and 50mm

25mm and 50mm

25mm and 50mm

光纖長度

3m,max 1000m

3m,max 1000m

3m,max 1000m

測厚儀應(yīng)用領(lǐng)域:

Lumetrics 產(chǎn)品既可以提供獨(dú)立的測量頭,也可以集成在各種設(shè)備中,廣泛應(yīng)用在以下領(lǐng)域,

1、光電子行業(yè):

2 、薄膜行業(yè):測量塑料薄膜的厚度

3 、醫(yī)療行業(yè):測量滴液管、塑料管壁厚、糖尿試紙等

4、單件元件厚度控制(特別適用于紅外材料,測量厚度控制平行度)
5 、平板玻璃厚度測試:浮法玻璃、液晶平板 透鏡中心厚及膠合間隙測量

 

非接觸式測厚儀


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