目錄:北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司>>澤攸科技電子顯微鏡>>SEM原位解決方案>> SEM原位解決方案——SEM納米力測(cè)量系統(tǒng)
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更新時(shí)間：2024-09-23 15:22:44瀏覽次數(shù)：731評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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產(chǎn)品描述
PicoFemto NI-100 SEM納米力測(cè)量將納米壓痕儀集成進(jìn)掃描電鏡中，使用戶可以在掃描電鏡中進(jìn)行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個(gè)三維壓電驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)和一個(gè)納米力測(cè)量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣，可在三維納米位移臺(tái)的驅(qū)動(dòng)下，達(dá)到超過5 mm的準(zhǔn)確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm，以使待測(cè)量區(qū)域準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)力探針。
力探針同樣由壓電驅(qū)動(dòng)，在軸向達(dá)到100 um的伸縮長(zhǎng)度，位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準(zhǔn)確測(cè)量所施加的力的載荷，可測(cè)拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配，達(dá)到很好的測(cè)量效果。通過搭配電學(xué)、光學(xué)、加熱等模塊，該產(chǎn)品還可以實(shí)現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場(chǎng)耦合研究。
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