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目前，國產原子熒光譜儀占據國內近90%的市場，是國產分析儀器的驕傲。在儀器研發方面，我國科學工作者取得了許多具有自主知識產權的成就，眾多儀器制造商及個人發明了多項創新和研究成果。
氬氫火焰自動低溫點火裝置、去除水蒸氣裝置、扣除光源漂移和脈動裝置和在線消除還原劑氣泡裝置等實用技術，使儀器結構簡單，使用壽命增長，儀器穩定性增強，記憶效應顯著減小，增強了原子熒光光譜儀的實用性。利用小火焰原子化技術研制的原子熒光分析儀，將火焰原子熒光光譜法和HG－AFS裝置有機結合，使Au、Ag、Cu、Co、Ni等元素可以采用原子熒光光譜法測定。
順序注射進樣裝置大幅度減少樣品和試劑的消耗量，可在線自動配置標準系列和樣品自動稀釋，實現半自動化和全自動化，提高了原子熒光光譜儀的使用效率。另一引人注目的成就是多通道技術，相關研究人員從理論上闡述了多元素同步分析的定量關系、檢測系統的工作原理、誤差來源和硬件構成，提出通道合并的設計思想和消除道間干擾技術，目前已成功地制造出多通道原子熒光光譜儀，最多可以同時測定4個元素。
全譜多通道蒸氣發生原子熒光光譜儀，將有色散和無色散兩種技術有機地結合了起來，擴展了現有氫化物發生－原子熒光光譜儀的測量元素范圍，有效地提升了工作效率。順序掃描無射散原子熒光光譜儀、低溫等離子體原子熒光光譜儀、節能廉價鎢絲圈爐恒磁場塞曼扣背景原子熒光光度計、尾氣中有害元素的捕集阱裝置等新型，使原子熒光光譜儀向專業化、多用途方向發展。
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