前言

氮化鋯是一種由氮和鋯原子組成的化合物，具有極高的硬度、高熔點、高化學穩定性、耐熱性和耐電性等優異性能，是一種非常具有應用前景的陶瓷材料。氮化鋯優異的物理化學性能使得它在摩擦學領域用于生產高速、高溫的軸承；切削加工領域用于制造高速鉆頭、銑刀、砂輪；航空、航天領域用于制造燃氣渦輪發動機葉片、發動機噴嘴、短艙襯板等，從而提高飛機的耐熱性、起飛載荷和飛行速度；電子工業領域用于電子封裝、陶瓷壓電器件和金屬半導體場效應晶體管等微電子領域中。氮化鋯在越來越多的新興領域發揮重大作用，是一種具有巨大發展潛力的新型高性能陶瓷材料。氮化鋯中氧元素含量是材料的重要指標，氮化鋯比氧化鋯擁有更優異的力學性能和化學穩定性，需要對其中氧元素進行檢測。氮元素的高低可以判斷氮化鋯的材料純度，同樣需要進行檢測。

氮化鉬作為過渡金屬氮化物的典型代表，具有良好的導電性以及優異的力學性能、電化學性能，在催化、儲能、集成電路、保護涂層等領域有著廣泛的應用前景，其材料中的氧氮元素同樣需要進行檢測，來確定產品質量。

圖1：鋼研納克ONH5500分析儀

在脈沖電極爐的高溫條件下，樣品在惰性氣氛的石墨坩堝中熔融，氣體元素的化合物被還原分解，樣品中的氧以一氧化碳的形式釋放，經過氧化銅爐轉化為二氧化碳；樣品中的氮以氮氣的形式釋放，樣氣在載氣的攜帶下經過紅外檢測器及熱導檢測器，檢測器檢測出其中的二氧化碳及氮氣，通過軟硬件處理單元換算出樣品中的氧元素及氮元素含量。

用高純氦氣作為載氣，普通氮氣作為動力氣，使用萬分之一的電子天平稱取0.06g左右的樣品，將樣品放入助熔劑囊中，小心地將囊壓扁，排出里面的空氣，確保囊里面殘留空氣盡量少，這樣操作很好的保證樣品在助熔劑的助熔下能夠充分反應，使樣品中的氧氮完全釋放。

稱樣量影響分析結果，稱樣量過大樣品熔融不好，氧氮釋放不完全，因此樣品稱樣量不宜過多；樣品稱樣量過少，樣品的均勻性，以及天平的分辨率，對分析結果的穩定性影響過大。實驗中分別對不同重量進行了測試，最終確定稱取0.06g時效果最佳。具體測定數據見表1。

由于氮化鋯及氮化鉬沒有同基體的標準樣品，本文采用與試樣基體較接近的氮化硅作為標準物質，來校正曲線，曲線線性很好，見圖2。

2.2 測定結果

按照實驗方法測定氮化鋯及氮化鉬樣品，平行測定5次求平均值，及標準偏差，測定結果如表2所示。

結論

本文對脈沖熔融-紅外熱導法測定氮化鋯及氮化鉬中的氧氮含量進行了研究，建立了氮化鋯及氮化鉬中氧氮的準確測定的分析方法，該方法快速準確，結果穩定性很好，測定結果滿足客戶需求。