在LCD顯示屏組裝中，很多工藝都需要等離子體處理設備配合，如玻璃基材蒸鍍或濺鍍ITO膜前，由于玻璃表面很臟造成清洗困難，達不到清洗效果，而等離子體清洗機能有效的出除表面油脂、灰塵等污染物，使之達到超潔凈清洗目的；ITO玻璃涂覆光阻前采用等離子體處理設備能有效提高表面浸潤性、去除污染物、減少氣泡產品、去除圖形轉移后殘留的化學藥劑。LCD模組粘合工藝中去除溢膠等有機類污染物、偏光片、防指紋膜等貼合前表面清洗和活化。

等離子體(Plasma)被稱為是物質的第四態;我們知道，給固態增加能量可使之成為液態，給液態增加能量可使之變成氣態，那么，給氣態增加能量則能變成等離子態。等離子體即電離了的”氣體”，它呈現出高度激發的不穩定態，等離子體中存在下列物質:處于高速運動狀態的電子;處于激活狀態的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;分子解離反應過程中生成的紫外線;未反的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。

plasma等離子清洗機就是利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發生物理或化學反的反應，從而達到表面清潔、激活、蝕刻、親水性、疏水性、低摩擦、易粘接、涂覆等各種表面改性目的。