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同惠TH513半導體C-V特性分析儀
TH510系列半導體C-V特性分析儀是同惠電子針對半導體材料及器件生產與研發的分析儀器。
TH510系列半導體C-V特性分析儀創新性地采用了雙CPU架構、Linux底層系統、10.1英寸電容式觸摸屏、中英文操作界面、內置使用說明及幫助等新一代技術，適用于生產線快速分選、自動
化集成測試及滿足實驗室研發及分析。
TH510系列半導體C-V特性分析儀測試頻率為10kHz-2MHz， VGS電壓可達±40V，足以滿足二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導體件CV特性測試分析。
得益于10.1英寸、分辨率達1280*800的電容式觸摸屏，TH510系列半導體器件C-V特性分析儀可將四個參數同屏顯示、所有設置、監視、分選參數、狀態等可以在同一屏顯示，避免了頻繁的切換的操作。
功能特點
A.單點測試，10.1英寸大屏，四種寄生參數同屏顯示，讓細節一覽無遺
10.1英寸觸摸屏、1280*800分辨率，Linux系統、中英文操作界面，支持鍵盤、鼠標、LAN接口，帶來了無以倫比的操作便捷性。
MOSFET最重要的四個寄生參數：Ciss、Coss、Crss、Rg在同一個界面直接顯示測量結果，并將四個參數測試等效電路圖同時顯示，一目了然。
多至6個通道測量參數可快速調用，分選結果在同一界面直接顯示。
B.列表測試，靈活組合
TH510系列半導體C-V特性分析儀支持最多6個通道、4個測量參數的測試及分析，列表掃描模式支持不同通道、不同參數、不同測量條件任意組合，并可設置極限范圍，并顯示測量結果 。
C.曲線掃描功能（選件）
TH510系列半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以對數、線性兩種方式實現曲線掃描，可同時顯示多條曲線：同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線 。
D.簡單快捷設置
E.10檔分選及可編程HANDLER接口
儀器提供了10檔分選，為客戶產品質量分級提供了可能，分選結果直接輸出至HANDLER接口。
在與自動化設備連接時，怎么配置HANDLER接口輸出，一直是自動化客戶的難題，TH510系列將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對應信號、應答方式等*可視化，讓自動化連接更簡單。
F.支持定制化，智能固件升級方式
同惠儀器對于客戶而言是開放的，儀器所有接口、指令集均為開放設計，客戶可自行編程集成或進行功能定制，定制功能若無硬件更改，可直接通過固件升級方式更新。
儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等，都可以通過升級固件(Firmware)來進行更新，而無需返廠進行。
固件升級非常智能，可以通過系統設置界面或者文件管理界面進行，智能搜索儀器內存、外接優盤甚至是局域網內升級包，并自動進行升級
G.半導體元件寄生電容知識
在高頻電路中，半導體器件的寄生電容往往會影響半導體的動態特性，所以在設計半導體元件時需要考慮下列因數
在高頻電路設計中往往需要考慮二極管結電容帶來的影響；MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅動能力和開關損耗等多方面特性；寄生電容的電壓依賴性在電路設計中也是至關重要，以MOSFET為例。
H.標配附件
應用
■ 半導體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光
電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析
■ 半導體材料
晶圓、C-V特性分析
■ 液晶材料
彈性常數分析
同惠TH513半導體C-V特性分析儀技術參數
產品型號 | TH511 | TH512 | TH513 | ||
通道數 | 2（可選配4/6通道） | 2 | |||
顯示 | 顯示器 | 10.1英寸(對角線)電容觸摸屏 | |||
比例 | 16:9 | ||||
分辨率 | 1280×RGB×800 | ||||
測量參數 | CISS、COSS、CRSS、Rg，四參數任意選擇 | ||||
測試頻率 | 范圍 | 10kHz-2MHz | |||
精度 | 0.01% | ||||
分辨率 | 10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz | ||||
100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz | |||||
1Hz 100.000kHz-999.999kHz | |||||
10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz | |||||
測試電平 | 電壓范圍 | 5mVrms-2Vrms | |||
準確度 | ±（10%×設定值+2mV） | ||||
分辨率 | 1mVrms 5mVrms-1Vrms | ||||
10mVrms 1Vrms-2Vrms | |||||
VGS電壓 | 范圍 | 0 - ±40V | |||
準確度 | 1%×設定電壓+8mV | ||||
分辨率 | 1mV 0V - ±10V | ||||
10mV ±10V -±40V | |||||
VDS電壓 | 范圍 | 0 - 200V | 0 - 1500V | 0 - 3000V | |
準確度 | 1%×設定電壓+100mV | ||||
輸出阻抗 | 100Ω，±2%@1kHz | ||||
數學運算 | 與標稱值的絕對偏差Δ，與標稱值的百分比偏差Δ% | ||||
校準功能 | 開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD | ||||
測量平均 | 1-255次 | ||||
AD轉換時間（ms/次） | 快速+：0.56ms(＞5kHz) 快速：3.3ms 中速：90ms 慢速：220ms | ||||
最高準確度 | 0.1%（具體參考說明書） | ||||
CISS、COSS、CRSS | 0.00001pF - 9.99999F | ||||
Rg | 0.001mΩ - 99.9999MΩ | ||||
Δ% | ±（0.000% - 999.9%） | ||||
多功能參數列表掃描 | 點數 | 20點，每個點可設置平均數，每個點可單獨分選 | |||
參數 | 測試頻率、Vg、Vd、通道 | ||||
觸發模式 | 順序SEQ：當一次觸發后，在所有掃描點測量，/EOM/INDEX只輸出一次 | ||||
步進STEP：每次觸發執行一個掃描點測量，每點均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結果只在最后的/EOM才輸出 | |||||
圖形掃描 | 掃描點數 | 任意點可選，最多1001點 | |
結果顯示 | 同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線 | ||
顯示范圍 | 實時自動、鎖定 | ||
坐標標尺 | 對數、線性 | ||
掃描參數 | Vg、Vd | ||
觸發方式 | 單次 | 手動觸發一次，從起點到終點一次掃描完成，下個觸發信號啟動新一次掃描 | |
連續 | 從起點到終點無限次循環掃描 | ||
結果保存 | 圖形、文件 | ||
比較器 | Bin分檔 | 10Bin、PASS、FAIL | |
Bin偏差設置 | 偏差值、百分偏差值、關 | ||
Bin模式 | 容差 | ||
Bin計數 | 0-99999 | ||
檔判別 | 每檔最多可設置四個參數極限范圍，四個測試參數結果設檔范圍內顯示對應檔號，超出設定最大檔號范圍則顯示FAIL，未設置上下限的測試參數自動忽略檔判別 | ||
PASS/FAIL指示 | 滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮，否則FAIL燈量 | ||
存儲調用 | 內部 | 約100M非易失存儲器測試設定文件 | |
外置USB | 測試設定文件、截屏圖形、記錄文件 | ||
鍵盤鎖定 | 可鎖定前面板按鍵，其他功能待擴充 | ||
接口 | USB HOST | 2個USB HOST接口，可同時接鼠標、鍵盤，U盤同時只能使用一個 | |
USB DEVICE | 通用串行總線插座，小型B類（4個接觸位置）；與USB TMC-USB488和USB2.0相符合，陰接頭用于連接外部控制器。 | ||
LAN | 10/100M以太網，8引腳，兩種速度選擇 | ||
HANDLER | 用于Bin分檔信號輸出 | ||
RS232C | 標準9針，交叉 | ||
RS485 | 可以接收改制或外接RS232轉RS485模塊 | ||
開機預熱時間 | 60分鐘 | ||
輸入電壓 | 100-120VAC/198-242VAC可選擇，47-63Hz | ||
功耗 | 不小于130VA | ||
尺寸（WxHxD）mm | 430x177x405 | ||
重量 | 16kg | ||
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