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奧林巴斯OLS5100-EAF激光共焦顯微鏡
LEXT™ OLS5100 3D激光掃描顯微鏡
適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學性能與智能工具相結合，讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數據簡化您的工作流程。
奧林巴斯OLS5100-EAF激光共焦顯微鏡
LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準確的測量數據。與智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可獲得可靠的高精度數據。
| 型號 | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 總倍率 | 54x–17,280x | |||||
| 視場 | 16 µm–5,120 µm | |||||
| 測量原理 | 光學系統 | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 顏色 彩色DIC | ||||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相機 | |||||
| 高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5 nm | ||||
| 動態范圍 | 16位 | |||||
| 重復性σn -1*1 *2 *5 | 5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm | |||||
| 準確度*1 *3 *5 | 0.15 + L / 100μm（L：測量長度[μm]） | |||||
| 拼接圖像準確度*1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm]) | |||||
| 測量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | |||||
| 寬度測量 | 顯示分辨率 | 1 nm | ||||
| 重復性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0.45 µm, 10X: 0.1 µm, 20X: 0.03 µm, 50X: 0.012 µm, 100X: 0.012 µm | |||||
| 準確度*1 *3 *5 | 測量值+/- 1.5% | |||||
| 拼接圖像準確度*1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接長度[mm]） | |||||
| 單次測量時*測量點數量 | 4096 × 4096像素 | |||||
| *測量點數量 | 3600萬像素 | |||||
| XY載物臺配置 | 長度測量模塊 | • | 不適用 | 不適用 | • | |
| 工作范圍 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動 | 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 | ||
| *樣品高度 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) | 30 mm (1.2 in.) | 30 mm (1.2 in.) | 210 mm (8.3 in.) | ||
| 激光光源 | 波長 | 405 nm | ||||
| *輸出 | 0.95 mW | |||||
| 激光等級 | 2級（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） | |||||
| 彩色光源 | 白光LED | |||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
| 質量 | 顯微鏡主體 | 約 31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約 43 kg | |
| 控制箱 | 約 12 kg | |||||
*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規定的恒溫恒濕環境下使用時提供保證（溫度：20?C±1?C，濕度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所規定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測量時倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測量時。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時的典型值。
*5 基于奧林巴斯認證系統下的保證。
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