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CINDBEST-CGO-4高低溫真空探針臺測試系統
  • CINDBEST-CGO-4高低溫真空探針臺測試系統
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貨物所在地:廣東深圳市

地: 深圳

更新時間:2025-03-10 15:44:34

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CGO-4高低溫真空探針臺測試系統
77K-675K(液氮);

超高溫度分辨率;

低溫具有*穩定性

CGO-4高低溫真空探針臺測試系統 

77K-675K(液氮);

超高溫度分辨率;

低溫具有*穩定性

特點/應用

2至6英寸樣品臺

高真空腔體

防輻射屏設計,樣品溫度均勻性更好

77K-675K高低溫環境

兼容IV/CV/RF測試

外置多探針臂,移動行程大

經濟實用,可無縫升級

CGO-4高低溫真空探針臺測試系統 

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

高溫無氧化測試:

當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

    晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。

 

腔體規格:

型號

CGO-2/CGO-4/CGO-6

樣品臺尺寸

2英寸/4英寸/6英寸

樣品固定

彈簧壓片

觀察窗口

2英寸/4英寸/6英寸

真空度

10-6torr

探針臂接口

4~6個探針臂接口

其他接口

電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式

液氮/液氦/制冷機

溫度范圍

77K到573K/4.5K到573K

溫控精度

0.1K/0.01K/0.001K

穩定性

±1K/±0.1K/±0.01K

外形

880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高

重量

約100千克/120千克

 

 

◆ 光學系統:

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動行程

水平360度旋轉,Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

 

 

◆ 探針臂:

X-Y-Z移動行程

50mm*50mm*50mm

結構

外置探針臂,真空波紋管結構

移動精度

10微米/1微米

線纜

同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

頻率支持

DC-67GHZ

針尖直徑

0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

 


 

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