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CT-6非真空高低溫探針臺
大可用于12英寸以內樣品測試
采用密閉腔結構，屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜
CT-6非真空高低溫探針臺
特點/應用
大可用于12英寸以內樣品測試
采用密閉腔結構，屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜
優化的腔體保溫結構可以極大的減少液氮消耗量
可搭配多種類型顯微鏡
結構模塊化設計，可無縫升級
探針臺可根據客戶要求定制。
臺體規格：
型號 | CT-6/CT-8/CT-12 |
樣品臺尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 |
水平旋轉 | 可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動行程 | 6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 |
X-Y移動精度 | 10微米/1微米 |
樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環 |
針座平臺 | U型針座平臺，多可放置6~12個探針座 |
平臺升降 | 可快速升降10mm/可微調升降10mm |
背電極測試 | 樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極 |
溫度范圍 | 負80°到正400° |
溫控精度 | 0.01°/0.1°/1° |
重量 | 約120千克/150千克 |
◆ 光學系統：
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | 水平方向繞立柱旋轉/XY軸移動4英寸，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
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