極紫外EUV/軟X射線光源

無電極Z-Pinch技術

    各種文獻表面Z-Pinch等離子體能有效地產生極紫外光和軟X射線，但是到現在為止都是使用電極將高放電電流導入等離子體中。電極一般都要與高溫等離子體接觸，可能熔化并產生很多殘留碎屑。

Energetiq*的技術也是基于Z-Pinch等離子體，但是卻*不使用電極而是通過電感將電流耦合進入等離子體中。Energetiq光源中的等離子體通過磁性遠離光源內壁，能夠將熱負載消除到zui低并減少殘留碎屑。Energetiq的無電極Z-Pinch技術有的空間穩定性和穩定的可重復輸出功率。

EQ-10無電極Z-Pinch 10瓦EUV光源

    EQ-10是一款緊湊、易用、可靠且性價比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙氣的無電極Z-Pinch技術。EQ-10 EUV光源特別適合測量學和研究應用。EQ-10 EUV光源的模塊化設計使之很容易集成到工藝設備中。系統包括無電極Z-Pinch光源組裝、真空和氣體子系統、功率輸出子系統和控制電路。EQ-10可以在2π球面度輸出高達10W的EUV功率，并以高達2KHz的脈沖重復頻率連續運行。

性能

1、使用氙氣在2π球面度輸出10W

2、高達2KHz脈沖重頻率

3、小等離子體尺寸

4、低殘留

5、低成本

6、氙氣流速低

7、將消耗成本降至zui低

8、占地面小

可靠性

1、無電極Z-Pinch技術

2、符合CE標志和SEMI S2-0703

應用

1、EUV度量學

2、耐EUV開發

3、缺陷檢測

4、EUV顯微學

EQ-10HP無電極Z-Pinch 20W EUV光源

    EQ-10HP是一款緊湊、易用、可靠且性價比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙氣的無電極Z-Pinch技術。EQ-10HP EUV光源特別適合計量學和研究應用。EQ-10HP工作的輸入功率顯著高于之前的型號且亮度也顯著提高，使之適合于諸如EUV掩膜檢測的成像應用。EQ-10HP光源的模塊化設計使之很容易集成到工藝設備中。系統包括無電極Z-Pinch光源組裝、真空和氣體子系統、功率輸出子系統和控制電路。EQ-10HP可以在2π球面度輸出高達20W的EUV功率，并以高達2.5kHz的脈沖重復頻率連續運行。

性能

1.使用氙氣在2π球面度輸出20W

2.高達2.5kHz脈沖重頻率

3.小等離子體尺寸

4.低殘留

5.低成本

6.氙氣流速低

7.將消耗成本降至zui低

8.占地面小

可靠性

1.無電極Z-Pinch技術

2.符合CE標志和SEMI S2-0703

應用

1.EUV掩膜檢測

2.EUV度量學

3.耐EUV開發

4.EUV顯微學

EQ-10HR無電極Z-Pinch 10kHz EUV光源

EQ-10HR是一款緊湊、易用、可靠且性價比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙氣的無電極Z-Pinch技術。EQ-10HR高重復率EUV光源特別適合要求大批量生產模擬的計量學和研究應用。EQ-10HR EUV光源為一個獨立系統，可以直接集成到工藝設備中。系統包括無電極Z-Pinch光源組裝、真空泵子系統、功率輸出子系統和控制電路。

性能

1.10kHz重復率

2.小等離子體尺寸

3.低殘留

4.低成本

5.氙氣流速低

6.將消耗成本降至zui低

7.占地面小

可靠性

1.無電極Z-Pinch技術

2.符合CE標志和SEMI S2-0703

應用

1.EUV光學元件測試

2.EUV計量學

3.耐EUV開發

4.缺陷檢測

5.EUV顯微學

EQ-10SXR無電極Z-Pinch軟X射線光源

      EQ-10SXR是一款緊湊、易用、可靠且性價比高的EUV光源，基于Energetiq使用氮氣的無電極Z-Pinch技術。

EQ-10SXR組成包括一個19英寸機架，包括氣體亞系統、功率輸出系統和控制電路；集成真空泵的無電極Z-Pinch光源組裝；和一個高效率脈沖調制器。模塊化設計使之很容易集成到顯微鏡或其它應用設備中。

EQ-10SXR可以在2π球面度輸出高達400mW的2.8nm波長功率，并以高達2kHz的脈沖重復頻率連續運行。

為了滿足不同設備的應用要求，用戶可以調節光源的工作條件，用戶可以調到zui高功率zui高亮度。在典型工作條件下等離子體尺寸一般小于1mm直徑。用戶可以通過彩色觸摸屏操作，可手動和自動工作。EQ-10SXR很好安裝，要求電源、冷水機、凈化壓縮空氣和高純氮氣源。

特點

1、使用氮氣產生2-4nm軟X射線

2、等離子體直徑小于1mm

3、性價比高、結構緊湊

應用

1、水窗顯微鏡

2、細胞微光束探測

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