烘膠臺 智能烘膠臺  型號：BP/2B

產品主要用于光刻工藝中的前烘和堅膜。本產品具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點，可長時間連續穩定工作。本產品操作方便、穩定性高，具有較高的性能價格比，可廣泛應用于科研和生產。
烘膠板材料不銹鋼
烘膠板規格ø200mm
烘烤溫度≤200℃
控溫精度±2℃
控溫形式采用溫控儀PID調節（功率調節），自動測溫，控溫
外形尺寸280×360×220mm

勻膠機 型號： SC/1B

技術指標及配置：
　　1. 用于Φ5至Φ100mm硅片及其它材料等勻膠
　　2. 采用變頻器控制電機轉速，可實現均勻調速。轉速及其勻膠時間分別設置，可同時輸入七組數值，即轉速及勻膠時間可任意設置為Ⅰ檔、Ⅱ檔、……Ⅶ檔，從而達到啟動后先低速運轉(Ⅰ檔)，然后自動執行Ⅱ檔、……直至達到高速運轉。轉速設置范圍: 300轉/分(或更低) ～ 8000轉/分勻膠時間設置范圍: 1～3600秒。
　　3. 轉速穩定度：±1%
　　4. 膠的均勻性：±3%
　　5. 電機功率：90W
　　6. 樣片托： 1吋、2吋各一個
　　7. FY-1 機泵一個(0.5升/秒)
　　8.整機重量：9公斤

臺式勻膠機型號：KW-4A 

臺式勻膠機：（Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。  
詳細介紹： 勻膠機(英文名：Spin Coater)  
行業俗稱:勻膠臺,甩膠機,涂膠機,鍍膜機,涂層機,旋涂機,旋涂儀等。  

 KW-4A  

  
產品概述:  
 同德品牌KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.  
勻膠機穩定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機的特點.  
同德公司勻膠機在這方面采取了許多新技術:  
(一)該設備采用新技術,使用進口配件(韓國定子和轉子，美國電機)使高轉速加速度更加穩定,控制更加.  
(二)定子和轉子分開供電.定子用穩定電源供勵磁電流,轉子用開關電源調速,它比可用控硅調速*得多,轉速在1000~8000轉/分范圍內非常穩定.在未取得真空的狀態不會轉到,保證了使用的可靠性.  
(三)本勻膠機有兩個轉速.在啟動之后,先以低速運轉,使膠攤開,然后自動變到高速運轉.兩種轉速及相應的時間分別可調.  
(四)本勻膠機測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍，盤邊的下面安裝有光電開關,光源照到光電經反射到接收器,產生光電脈沖,測速盤旋轉一周,產生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產生,周期為兩秒.當馬達旋轉時,如果計時器在2秒內計的得數是n,則每分鐘應該轉了n/(2x3)=n/6轉,每分鐘旋轉(n/6)x60=10n轉.故計數器就是每分鐘轉速,只不過差一個數量級.  
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率.  
(六)勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩形式連接,改變RC常數,就可以改變兩個勻膠時間.  
(七)智能型調節勻膠時間,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.  
(八)在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調節轉速調節涂覆厚度.  
(九)勻膠機配真空泵使用（推薦配套使用雙級無油環保真空泵 SK-65C型）  

性能指標：  
1,特點是雙轉速勻膠機,兩檔轉速及勻膠時間分別連續控制,在啟動后先低速運轉,經幾秒鐘后自動轉換到高速運轉.也可單獨使用低轉速或者高轉速  
Ⅰ檔 調速范圍：500-2000轉/分 Ⅰ檔 勻膠時間：2-18秒  
Ⅱ檔 調速范圍：1300-8000轉/分 Ⅱ檔 勻膠時間：3-60秒  
2,LED數字顯示,轉速穩定度：±1% ,膠的均勻性：±3% .  
3,電源電壓：220V/ 50Hz  
4,電機功率：40W  
5,適用：Φ5-Φ100mm硅片或其它材料的勻膠.(備有各種型號托盤選購或者免費特殊訂制)  
6,真空泵抽氣速率 ≥60L/S  
7,產品體積小,重量輕,操作簡便,易維護  
勻膠機主體尺寸：210×220×160 mm