自動橢圓偏振測厚儀 橢圓偏振測厚儀 型號： TPY-2 
產品特點： 
TPY-2 型自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩定波長精度高。 
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數據采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。 

TPY-2 型自動橢圓偏振測厚儀規格與主要技術指標： 
測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm     折射率范圍：1-10    
測量zui小示值：≤1nm                  入射角：20°- 90°精度≤0.05° 
度盤刻度：每格1度                    允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm 
偏振器步進角：0.014°/步               偏振器方位角范圍：0°- 180°     
測量膜厚和折射率重復性精度分別為：0.5nm和0.005 
儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時） 
光學中心高度：80mm    

TPY-2 型自動橢圓偏振測厚儀成套性：主機、電控系統、USB接口、配套軟件（需配計算機） 
主機重量：26kg    外形尺寸：680*390*310mm