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日本理音RION KS-93粒子傳感器資料下載

最近更新時間：2015-12-24

提供商：上海民儀電子有限公司資料大小：372.9KB

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日本理音RION KS-93粒子傳感器 產地：日本

Now capable of measuring 0.1 µm particles in semiconductor special material gases
Simultaneous 5-channels particle measurement
Rated flow rate:100mL/min, max.300 mL/min.
Direct measurement of inert gas as well as corrosive, reactive and other gases
Realizes leak-tight, outgas-free conditions without dead space
Supports to SiH4, SiHCl3, HBr, NH3, PH3, HCl,etc.

< Specification >

Optical system	sideway light-scattering system
Light source	Laser diode
Particle size measurement ranges	5 channels (0.1, 0.15, 0.2, 0.3, 0.5µm)
Flow rate	100 mL/min
Max. Concentration	30,000/min (counting loss within 5%)
Dimensions and weight	Approx. 280(H) X 135(W) X 150(D) mm, Approx. 6.5 kg

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四通道激光粒子計數器,四通道PM1值監測儀,四通道PM2.5值監測儀,四通道PM4值監測儀,四通道PM10值監測儀

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