一個完整的真空系統的組成

 真空應用設備種類繁多，但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統，以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當真空泵對容器進行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構成了一個zui簡單的真空抽氣系統。

1：zui簡單的真空系統

      zui簡單的真空系統只能在被抽容器內獲得低真空范圍內的真空度，當需要獲得高真空范圍內的真空度時，通常在圖1所示的真空系統中串聯一個高真空泵。當串聯一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個油擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板(如圖2所示)。根據要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等，這樣就構成了一個較完善的高真空系統。

2：高真空系統

    凡是由兩個以上真空泵串聯組成的真空系統，通常都把抽低真空的泵叫做它上一級高真空泵的前級泵(或稱前置泵)，而zui高一級的真空泵叫做該真空系統的主泵，即它是zui主要的泵，被抽容器中的極限真空度和工作真空度就由主泵確定。被抽容器出口到主泵入口之間的管路稱為高真空管路，主泵入口處的閥門稱為主閥。

    通常前級泵又兼作予真空抽氣泵。被抽容器到予抽泵之間的管路稱為予真空管路，該管路上的閥門稱為予真空管道閥。主泵出口到前級泵入口之間的管路稱為前級管道，該管路上的閥門稱為前級管道閥，而軟連接管道是為了隔離前級泵的振動而設置的。

    總起來說，一個較完善的真空系統由下列元件組成：

    1．抽氣設備：例如各種真空泵；

    2．真空閥門；

    3．連接管道；

    4．真空測量裝置：例如真空壓力表、各種規管；

    5．其它元件：例如捕集器、除塵器、真空繼電器規頭、儲氣罐等。

    那么，究竟什么是真空系統?用一句話來概括，就是：用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統。

    真空系統設計的基本內容：是根據被抽容器對真空度的要求，選擇適當的真空系統設計方案，進行選、配泵計算；確定導管、閥門、捕集器、真空測量元件等，進行合理配置，zui后劃出真空系統裝配圖和零部件圖。