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X-Y：250×150mm(正像型AZ，另加2500)
X-Y：200×100mm(正像型AZ，另加2500)
投影屏Φ300mm，X-Y：150×100mm，數顯分辨率1μm，角度1’物鏡10×(選20×，50×)，投影筒升降(正像型AZ，另加2500)
投影屏Φ300mm，X-Y：150×50mm，數顯分辨率1μm，角度1’物鏡10×(選20×，50×)，工作臺升降(正像型Z，另加2500)
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