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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子/電池,電氣 |
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srs UGAPM300 氣體分析儀
UGAPM系列過程監測系統是設計用于分析過程氣體的現代質譜儀。入口以低流速（約 5x10-5 mbar L/sec）連續采樣氣體，使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 系列過程監測儀運行范圍為 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系統<1.5 秒響應時間 （0.1 Torr）多點分析多范圍應用幾乎零死體積系統烘烤和樣品線加熱UGAPM 系列過程監測系統UGAPM 系列過程監測系統是專為分析過程氣體而設計的現代質譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 至 1 mTorr。入口以低流速（約 5x10-5 mbar L/sec）連續對氣體進行采樣，使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 應用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子體蝕刻、蒸發、濺射沉積、真空熱處理、目標老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染物研究、小體積分析（0.1 mL 范圍）等。這些分析儀也易于操作和維護。所有組件都可以從前面板或遠程計算機進行控制。在UGAPM系統中，使用外徑為1/16“或1/8"的SS毛細管來適應中真空采樣。通過這種配置，工藝室和分析儀之間的死體積幾乎為零。工作原理UGAPM內部視圖UGAPM系統使用單級毛細管減壓入口對1 mTorr至20 Torr的氣體進行采樣。在壓力降低到10-6 Torr左右后，氣流被發送到質譜儀（殘余氣體分析儀-RGA），該質譜儀測量每個目標質量的濃度。UGAPM Windows 軟件為復雜的圖形繪制和數據分析提供了圖形用戶界面。該軟件還允許遠程控制系統的閥門、加熱器和泵。多毛細管入口可選的多入口閥有兩種可能的配置。一種是多通道配置，可以應用于不同位置的特定樣品壓力。另一種是多量程配置，可應用于各種范圍的樣品壓力。
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