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GSZ-RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合（亦稱雙位組合）測量新,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電探針、電壓探針的變換，在計算機(jī)控制下行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所的儀器是無法實現(xiàn)的。

GSZ-RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是個運行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析

參數(shù)：

測量范圍	電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴(kuò)展）；方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴(kuò)展）；電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；電阻：0.001～200Ω.cm；
可測晶片厚度	≤3mm
可測晶片直徑	140mmX150mm（配S-2A型測試臺）； 200mmX200mm（配S-2B型測試臺）； 400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；
恒源	電量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動顯示；
四探針探頭基本標(biāo)	間距：1±0.01mm；針間緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓（總力）；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)	（見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測量相對誤差（按JJG508-87行）	0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量zui大相對誤差	（用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±4%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度	≤4%
計算機(jī)通訊接口	并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境	溫度：23±2℃；相對濕度：≤65%；無頻干擾；無強(qiáng)光直射；

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