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微波光電導載子復合壽命測試儀/少子壽命測試儀 型號：HAD-100A
HAD-100A型微波光電導載子復合壽命測試儀是參照半導體設備和材料際組織SEMI標準MF1535-0707及家標準GB/T 26068-2010制。并且我單位是微波反射法家標準起草單位之。本設備采用微波反射無接觸光電導衰退測量方法，適用于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數載子壽命的測量，提供無接觸、無損傷、數字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導體重金屬污染及缺陷存在的情況，是半導體質量的重要檢測項目。
壽命測量范圍：0.25μs-10ms；樣品電阻率下限>0.5Ω·cm。
讀數方式：數字直讀。
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