質量量控制器的英文名字叫"MASS FLOW CONTROLLER"(簡稱MFC)，它通常由量傳感器、量調節閥、放大控制電路和分器控制通道等件組成。

用途與點

質量量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量量行測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制設備中。并廣泛用于石油化。冶金，制藥等。點:度，重復性好。

般類型

量計般分為以下幾種類型:

1. 容積式量計，又稱定排量量計。它利用機械測量元件把體連續不斷的分割成單個已知的體積分，根據測量室逐次重復的充滿和排放該體積分體的次數來測量體體積量。

2. 浮子式量計，又稱轉子量計，是變面積式量計的種，在根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。

3. 差壓式量計 ，是根據安裝于管道中量檢測件產生的差壓，已知的體的條件和檢測間與管道的尺寸來計算量的儀表。

4. 渦街量計，在體中安放根非線型游渦發生體，體在發生體兩側交替的分離釋放出兩串規則地交錯排列的游渦的儀表。

5. 渦輪量計，是速度式量計中的主要種類，它采用多葉片的轉子(渦輪)感受體平均速，從而推導出量或總量的儀表。

6. 聲量計，通過檢測體動對聲束(或聲脈沖)的作用以測量量的儀表。

7. 電磁量計，電磁量計是根據法拉弟電磁感應定律制成的種測量導電性液體的儀表。電磁量計有系列優良性,可以解決其它量計不易應用的問題,如臟污、腐蝕的測量。

8. 熱式量計，熱式量計傳感器包含兩個傳感元件，個速度傳感器和個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱分將速度傳感器加熱到于況溫度的某個定值，使速度傳感器和測量況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與過氣體的質量量成正比，它適合單氣體和固定比例多組份氣體的測量。

科里奧利式量計，其原理是利用體在振管內動時產生的科氏力，以直接或間接地方法測量其力而得到體質量量。