TESCAN MIRA3 掃描電子顯微鏡 是一款高性能掃描電鏡，配備有高亮度肖特基電子槍，以獲得高分辨及低噪聲成像。MIRA3 為用戶提供優秀的掃描電鏡使用體驗，擁有更快的圖像采集速度，超快速的靜態和動態圖像畸變補償掃描系統以及用戶自定義內置應用程序腳本等。

 

TESCAN 掃描電鏡優異的分辨率非常有利于 EDS、WDS 及 EBSD 成分分析。借助優化的電子束減速技術 ( BDT ) 使得低著陸電壓下的成像能力進一步增強。MIRA3 有 LM、XM 和 GM三種優化幾何設計的樣品室尺寸可供選擇，同時可選擇高/低真空操作環境。

TESCAN 掃描電鏡突出特點

配置高亮度肖特基電子槍，實現高分辨率，大束流及低噪聲成像；
*的中間透鏡（IML）技術和 Wide Field Optics™光路相配合，可提供多種工作和顯示模式，如大視野模式和景深模式；
實時電子束追蹤技術(In-Flight Beam Tracing™)可實現性能及電子束的實時優化，同時可直接控制電子束及束流的連續調節。電子束減速技術 ( BDT ) 在低電壓下具有優異分辨率；
通過強大的 In-Beam 探測器可實現短工作距離下的優異成像（選配）；
所有的 MIRA3 倉室均配備優異的 5 軸全自動優中心樣品臺 (compucentric stage)同時擁有 EDS 和 EBSD 分析所需的理想幾何結構設計；
可選配帶有強大樣品臺的超大樣品室（XM、GM），可檢測大樣品 (如6", 8", 12")晶圓；
優化幾何設計的眾多接口，可用于接入 EDS、WDS、EBSD 以及其他探測器；
可變真空模式適用于非導電樣品研究；
多樣可選擇的減震方式可有效降低實驗室環境振動的影響；
無畸變 EBSD 花樣。

TESCAN 掃描電鏡現代電子光路

·高亮度肖特基電子槍可獲得高分辨率/高電流/低噪音圖像
·*的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設計提供了多種工作與顯示模式
·*的中間鏡的作用就如同軟件“光闌轉換器”，它以電磁方式有效地改變物鏡光闌
·結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優化電子束
·可選的In-Beam探頭可獲得特高分辨率圖像
·電鏡的全自動設置
·成像速度快
·使用3維電子束技術，實時得到立體圖像，三維導航
維修簡單
現在保持電鏡處在的狀態很簡單，只需要很短的停機時間。每個細節設計得很仔細，使得儀器的效率化，操作簡化。
自動操作
設備的特點包括了自動設置和眾多自動操作。除此之外，電鏡還有樣品臺自動導航與自動分析程序，能明顯減少操作員的操作時間。通過內置腳本語言（Python）可進入軟件的大多數功能，包括顯微鏡的控制、樣品臺的控制、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶還可以編程其自己的自動操作程序。