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邁可諾技術有限公司

主營產品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機

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SE-MSP光譜橢偏儀顯微分光光度計
光譜橢偏儀顯微分光光度計
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號 SE-MSP
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 北京市

更新時間:2024-05-17 09:09:26瀏覽次數:1606

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!

【簡單介紹】
產地類別 進口 應用領域 電子/電池
對于某些應用(例如MEMS或半導體產品晶圓上的功能),希望有一個小的探測點。將顯微分光光度計與橢圓偏振光度計集成在一起后,工具的功能將大大擴展。可通過橢圓偏振光度法在超薄膜上工作,并且還具有通過微反射法與橢圓度計和微分光光度計相結合的*配置的小面積微反射法。
【詳細說明】

光譜橢偏儀顯微分光光度計

型號:SE-MSP

可通過橢圓偏振光度法在超薄膜上工作,并且還具有通過微反射法與橢圓度計和微分光光度計相結合的*配置的小面積微反射法。TFProbe 3.3版本軟件將處理測量和分析。

 

對于某些應用(例如MEMS或半導體產品晶圓上的功能),希望有一個小的探測點。將顯微分光光度計與橢圓偏振光度計集成在一起后,工具的功能將大大擴展。SE-MSP型是為此目的而設計的。MSP在反射法模式下工作,并以法向入射角進行測量,這是對非法向入射角SE設置的補充。SEMSP的波長范圍可以根據應用需求進行不同配置。所有選項都是可選的。

 

應用范圍:

•半導體制造(PR,氧化物,氮化物..

•液晶顯示器(ITOPR,液晶盒間隙…..

•法醫,生物膜和材料

•油墨,礦物學,顏料,碳粉

•藥品,醫療器械

•光學涂料,TiO2SiO2Ta2O5..

•半導體化合物

MEMS / MOEMS中的功能膜

•非晶,納米和晶體硅

 

特征:

•易于使用,基于Window的軟件進行操作

•*光學設計可實現*系統性能

•使用SExxxBA選項以0.001度的分辨率自動更改入射角

•高功率光源,適用于寬帶應用

•基于陣列的探測器系統可確保快速測量

•測量多層膜的厚度和折射率,允許用戶設計無限層的模型

•系統附帶全面的光學常數數據庫

••TFProbe 3.3軟件允許用戶為每膜使用NK表,色散或有效介質近似值(EMA

•三種不同的用戶級別控制:工程師模式,系統服務模式和簡易用戶模式

•靈活的工程師模式,適用于各種配方設置和光學模型測試

•強大的一鍵式按鈕解決方案,可進行快速和常規的測量

•可配置的測量參數,操作簡便

•全自動系統校準和初始化

•直接從樣品信號獲得精確的樣品比對接口,無需外部光學器件

•精確的高度和傾斜度調整

•適用于許多不同類型,厚度不同的基材

•各種選件,附件可用于特殊配置,例如測繪臺,波長擴展,焦點等

2D3D輸出圖形和用戶友好的數據管理界面

••用于微米區域選擇的數字成像工具

•集成反射計,用于小范圍內的反射測量

 

系統配置:

探測器:探測器陣列

波長范圍可配置為1901700nm

光源:基于SEMSP的波長范圍

入射角更改:自動,帶有程序設置

階段:手動或自動映射階段

軟件:TFProbe 3.3

SEMSP結合

電腦:Intel i3處理器

顯示器:22英寸寬屏液晶

電源:通用110 240 VAC / 50-60Hz6 A



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