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手動變角光譜橢偏儀是高性價比手動橢偏儀,它采用手動改變測角計入射角技術,相比于自動改變入射角的自動光譜橢偏儀價格*低。
橢圓偏振技術是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術。
與反射計或反射光譜技術不同的是，光譜橢偏儀參數Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變入射角大小，可獲得許多組數據，這樣就非常有助于*化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。
手動光譜橢偏儀特色
易于安裝，拆卸和維護
**的光學設計
自動改變入射角，入射角分辨率高達0.01度
高功率光源適合多種應用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學常數數據庫
提供工程師模式，服務模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設置和光學模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直，不需要額外光學
精密高度和傾斜調整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數據顯示輸出
手動光譜橢偏儀參數
波長范圍：400-1100nm
波長分辨率：1nm
測量點大小：1-5mm可調
入射角：0-90度可調
入射角分辨率：5度
可測樣品大小：高達200mm 直徑或150x 150mm
可測樣品厚度：高達20mm
測量薄膜厚度：5nm ---30um
測量時間：~1s/點
精度：~0.25%
重復精度：<1A
手動光譜橢偏儀可選配件
反射或透射光度測量配件
微點測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學研究
垂直樣品安裝測角計
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置
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