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更新時(shí)間：2024-08-29 14:44:27
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三維表面形貌儀是進(jìn)口多功能光學(xué)形貌儀，集成光學(xué)傳感器,實(shí)現(xiàn)無接觸地測(cè)量樣本。
這種三維表面形貌儀已應(yīng)用于雕刻測(cè)量、紋理、拋光或微結(jié)構(gòu)表面狀態(tài)，尤其是在制表行業(yè),和激光雕刻領(lǐng)域。
**技術(shù)
彩色共焦
可見光和紅外干涉測(cè)量
激光三角測(cè)量
所有表面均可測(cè)量（粗糙的,透明的，拋光的表面等）
三維表面形貌儀規(guī)格參數(shù)
XYZ行程范圍：100mm x 100mm x 100mm
***大速度：40mm/s
軸向平整度：<1u/100mm
軸向分辨率：0.062um
測(cè)量傳感器：非接觸式共聚焦傳感器
測(cè)量范圍：100um-25mm
Z軸分辨率：可達(dá)3nm
橫向分辨率：0.9um
臺(tái)階高度測(cè)量：0.005%
粗糙度測(cè)量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測(cè)量厚度：4um
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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