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晶片分選機/晶片移動器即可以分揀晶圓,也可以移動晶圓,這種獨立的桌面自動分揀機采用雙盒配置。與行業標準的運輸、加工和金屬晶圓盒兼容。
晶片分選機/晶片移動器是一種經濟高效的自動化工具,旨在減少因手動晶片處理而導致的晶片破損和劃傷。晶片分選機采用為ISO 3級(FS209E 1級)設計;抗靜電結構。
晶片分選機/晶片移動器特點
觸摸屏控制
每小時400片晶圓處理能力
帶有內置全氟彈性體觸摸板的映射重力末端執行器
晶片映射檢查晶片存在、交叉槽、雙堆疊
晶片突出傳感器
變槳能力
多種配方模式
薄片處理
晶片分選機/晶片移動器規格參數
適合晶圓尺寸 | 76, 100, 150, 200mm |
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供電要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately |
吞吐量 | 400晶圓/小時 |
尺寸 | 25"W x 30"L x 32"H |
重量 | 約為38kg |