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自動晶圓轉移系統SWTS是自動晶片轉移機,可以根據需要分割、合并、排序、壓縮晶片批次或創建單個晶片混合。
自動晶圓轉移系統配備有兩個加載端口和機械晶片凹口/平面對準器。晶片處理通過邊緣夾持實現，因此不需要真空。
自動晶圓轉移系統還配備了一個自動批量晶片夾持器，用于轉移整批晶片。
自動晶圓轉移系統可用于100、125、150和200mm晶片。
自動晶圓轉移系統特點
吞吐量可達700 wph
低擁有成本
桌面系統或帶支架
不需要真空
單質量晶圓傳輸
*SECS/GEM合規
Windows操作系統
靜電安全
RFID磁帶識別
可能升級到WAFERIIdentification
可靠，無易損件
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