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批量晶圓ID讀取器WMS讀取waferLot晶圓組的waferID碼。可以讀取所有25個晶片或單個晶片以進行晶片跟蹤。
該waferlot批量晶圓ID讀取器配備晶片凹口/平面對準器、晶片存在/不存在傳感器、兩個線性軸和晶片讀卡器。數據可以通過GEM接口或通過ASCII文件發送到主機。
根據要求，批量晶圓ID讀取器WMS還能夠讀取晶片的正面和背面。
批量晶圓ID讀取器可用于100、125、150和200mm晶片。
批量晶圓ID讀取器規格參數
周期時間：對齊、掃描和讀取25個晶片<80秒
緊湊設計,占地面積580 x 380mm
*SECS/GEM合規
Windows操作系統
觸摸屏PC
靜電安全
可以讀取晶片背面ID
RFID磁帶識別請求
根據要求提供其他接口
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