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晶圓擴片機 UH132 Die Matrix Expanders是Ultron Systems電機驅(qū)動晶圓die擴膜擴展器,專業(yè)為晶片擴展和die晶粒展示而設(shè)計。
晶圓擴片機UH132同級芯片晶粒die繼續(xù)提供對die分離工藝參數(shù)的精確控制，但現(xiàn)在采用了帶有數(shù)字速度控制的新電機驅(qū)動設(shè)計，通過在整個驅(qū)動行程中產(chǎn)生線性和均勻膨脹，可提供更高的晶片擴展精度。
晶圓擴片機UH132系列的一個新的可編程功能允許節(jié)省預(yù)熱（停留）時間和ram速度，提供全面控制和最大精度，以獲得一致、可重復(fù)的結(jié)果。
晶圓擴片機UH132特征：
-可容納多達8英寸（200mm）的晶片/膜架（UH132型）和12英寸（300mm）的晶圓/膜架
-電機驅(qū)動柱塞，帶數(shù)字速度控制和2.8“可調(diào)沖程（柱塞高度）
-電動圓形切割機組件（UH132-12型標準；UH132型選件）
-帶熱敏電阻的數(shù)字溫控加熱臺
-可調(diào)行程限位器，實現(xiàn)一致的膨脹重復(fù)性
-精確控制模具分離距離，實現(xiàn)一致的重復(fù)性
-通過10圈千分表精確調(diào)整高度（一對一比率）
-最多9個程序可調(diào)節(jié)預(yù)熱時間（最多99秒）和ram速度（18速設(shè)置）
-安全過壓傳感器和用于柱塞止動的滑動離合器
-急停按鈕
-有機玻璃護罩，防靜電
-上下夾具總成
-下夾（外夾環(huán)）總成和上夾（內(nèi)夾環(huán)）組件可以單獨鉸接，以允許使用更大的夾環(huán)（UH132-12）
-定位銷提供了簡單而精確的膜架放置
-減少校準時間并提高自動化過程的產(chǎn)量
-幾乎消除了運算符變量