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光電測試探針臺是專業為8英寸和12英寸晶圓光電流測試設計的專業半自動變溫光電探針臺,可滿足8英寸和12英寸晶圓變溫光電測試需要,測試溫度范圍-60~350℃,特別適合高溫和低溫環境下晶圓變溫測試和射頻測試,可以實現自動晶圓對準和自動芯片對準。
光電測試探針臺特點
可選擇6'',8''晶圓和12''晶圓配置
測試溫度：-60℃~350℃
適合高功率器件測試20kV DC/200A
可選擇芯片固定配件
可配備護罩，防止露水凝結
可配備屏蔽罩，提供較低噪音環境
配備專用測試軟件，提高晶圓測試效率
采用圖像識別技術，可以實現自動晶圓對準和自動芯片對準
光電測試探針臺應用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測試：20KV DC/200A
RF射頻測試
高功率器件測試20kV DC/200A
各種電阻測量，如sheet電阻測量
高溫和低溫環境下的溫度特性測試
可靠性測試，如TDDB
光電測試探針臺可選配件
Thermal chuck from -60℃~+350°C
355nm~1064nm激光切割機
各種光源
三目顯微鏡（標配體視顯微鏡）
CCD相機
Probe card (4.5 inch square PCB)
光電測試探針臺可連接配合的測試儀器
設備分析儀/參數分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數字萬用表
阻抗分析儀
網絡分析器
光電測試探針臺規格參數
| 型號 | AP-200 | AP-300 |
| 晶圓卡片尺寸 | ~8英寸 | ~12英寸 |
| XY位移臺行程（粗調） | X:200mm, Y:400mm | X:320mm, Y:500mm |
| XYZ位移臺控制精度 | 0.1μm | 0.1μm |
| XYZ位移臺重復定位精度 | ±2μm | ±3μm |
| XY位移臺精度 | ±5μm | ±10μm |
| XY位移臺移動速度 | 30㎜/sec(Max) | 25㎜/sec(Max) |
| Z位移臺行程范圍 | 30mm | 80mm |
| Z位移臺移動速度 | 25㎜/sec(Max) | 25㎜/sec(Max) |
| 位移臺θ范圍 | ±5deg | ±6deg |
| θ分辨率 | 0.001度 | 0.000022294deg |
| 尺寸 | W760×D1000×H1020㎜ | W880×D1260×H1030㎜ |
| 重量 | 400kg | 800kg |
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