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大型自動光學檢測系統AOI是為14''晶圓光學檢測設計的自動光學檢測機器,非常適合微電子與半導體檢測,自動光學檢測晶圓、芯片、引線鍵合等。
大型自動光學檢測系統AOI的900系列是一個模塊化AOI檢查平臺,提供一系列先進的光學和操控性
解決方案包括3D、高分辨率成像和quad彩色照明。攝像頭和光學系統可擴展到分辨率低于1微米。此外，一系列可定制物料搬運配置包括…在內刀庫處理、帶鋼處理、托盤處理和晶圓處理。
大型自動光學檢測系統AOI非常適合晶片、芯片和引線、鍵合檢查等。提供自動檢查和校準功能,適合半導體和微電子領域的測量解決方案。
大型自動光學檢測系統AOI平臺提供最高的分辨率,2D和3D功能和光學,微電子、包裝和三坐標測量功能。
大型自動光學檢測系統AOI使用高分辨率3D系統、12MP分辨率攝像頭、多層照明和多通道技術。
大型自動光學檢測系統AOI特點
滿足100級超凈間標準 （請聯系我們確認）
較高測量能力，較大吞吐量
高分辨率3D檢測，微光學物鏡,
100-300mm晶圓
引線鍵合檢測
大型自動光學檢測系統AOI規格參數
| 型號 | MVP900 | +LP7 | +LP15 | +Micro |
| 檢測能力 | 晶圓,切片晶圓,引線鍵合,引線框架,微電子,3D粘貼,焊劑,保形,環氧樹脂,膠水,RF, BGA, CMM,模具、表面檢查、陶瓷、厚膜、汽車等 | |||
| 編程速度 | 增強的工具，允許您使用或不借助CAD生成程序 | |||
| X和Y運動系統 | 精密XY位移臺具有0.5微米的定位精度 | |||
| 光學分辨率 | 0.3~5um可選擇（請您訂購時選擇確定分辨率） | |||
| 光學相機 | 分辨率2500萬像素或1200萬像素可選 | |||
| 光學照明 | 白光或Quad彩色照明 | |||
| 3D測量原理 | 3D光源照明 | 激光輪廓儀 | 激光輪廓儀 | 微觀測量 |
| 3D速度 | 0.5cm/s | 2.4cm/s | 由應用決定 | |
| 3D傳感器 XY分辨率 | 2.5um | 5um | 250-350nm | |
| 3D傳感器 Z重復精度 | 0.3um | 0.4um | 0.5um | |
| 最大零件高度 | 35mm | 35mm | 35mm | 35mm |
| 計算機 | 多線程高級計算機，配置不低于1TB SSD硬盤，32-256G內存，Linux系統 | |||
| 檢測的外部尺寸 | 355mm x 355mm (14'') | |||
| 片厚 | 0.01-12.5mm | |||
| 外形尺寸 | W844mm x D1066mm x H1473mm | |||
| 傳送帶長度 | 850mm | |||
| 供電要求 | 208-240VAC,10A, 50/60Hz | |||
| 重量 | 680kg | |||
| 符合標準 | S2/S8, CE | |||
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