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這款表面形貌儀,是進口光學形貌儀或三維形貌儀,它除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,表面形貌儀具有測量晶圓翹曲度的功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。
表面形貌儀應用領域
用于太陽能電池測量
用于半導體晶圓測量
用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測量
用于機械部件的計量
用于塑料,金屬和其他復合型材料工件的測量
表面形貌儀產品特色
*除了表面形貌的測量,還可以測量張量和應力(簡單);
*可測量晶圓的尺寸為0.5''到12'', zui高可達45x45cm的尺寸,對于小于0.5''的晶圓或樣品,可配備微距鏡頭。
*測量晶圓或其他樣品的表面形貌,粗糙度和翹曲度;
*克服常見干涉儀在粗糙表面(油漆)表現不足的問題;
*非接觸式測量
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