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北京美華儀科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第17年

18001359912

干燥設(shè)備
專用儀器儀表
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無(wú)損

探針臺(tái)的維護(hù)保養(yǎng)

時(shí)間:2018/2/26閱讀:1931
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探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、速器件的電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制的成本。

維護(hù)

探針測(cè)試臺(tái)x-y作臺(tái)的分類

縱觀內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在能及組成上大同小異,即主要由x-y向作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y作臺(tái)(又叫磁性氣浮作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲家的采用滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。

x-y作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

無(wú)論是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),x-y向作臺(tái)都是其zui核心的分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y作臺(tái)的故障,而作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整成的,所以對(duì)作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作介紹。

2.1 平面電機(jī)x-y步作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,它和傳統(tǒng)的步電機(jī)相比其殊性就是將定子展開(kāi),定子是基礎(chǔ)平臺(tái), 動(dòng)子和定子間有層氣墊,動(dòng)子浮于氣墊上,而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y作臺(tái),由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,使用壽命長(zhǎng)。

而定子在過(guò)程中廠家根據(jù)不同的要求如分辨力等,用機(jī)的方法在平面的鐵制鑄件上出若干個(gè)線槽,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響作臺(tái)的步度及設(shè)備使用壽命,損壞嚴(yán)重將成設(shè)備無(wú)法使用而報(bào)廢。

由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子成損傷,而影響平面電機(jī)的步度及使用壽命,對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向個(gè)方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉蘸煤油清洗,整個(gè)過(guò)程操作要十分地細(xì)心,不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒(méi)有腐蝕性,不損壞定子的除銹劑除銹。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理作,清理時(shí)應(yīng)通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng),方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無(wú)水乙醇,輕擦定子表面,然后用用具撬起動(dòng)子,方法同前, 輕擦動(dòng)子表面,動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔,它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔,觀察這此氣孔的放氣是否均勻,否則用具小心旋開(kāi)小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔,處理畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要?jiǎng)e注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子,以免成定子及動(dòng)子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃,相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃,氣壓為0.4±0.04MPa。

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