納米精度3D測試儀是光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉儀干涉顯微鏡，結合顯微鏡物鏡與干涉儀，不需要復雜光路調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等有點，可提供垂直掃描高度達400μm的三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。

納米精度3D測試儀應用領域包括：
★晶圓（Wafer）
★光盤/硬盤（DVD Disk/Hard Disk）
★微機電組件（MEMS Components）
★平面液晶顯示器（LCD）
★高密度線路印刷電路版（HDI PCB）
★IC封裝（IC Package）
★其他材料表面分析與微組件表面研究
專業級的3D圖形處理與分析軟件；
提供多功能又具親和接口的3D圖形處理分析
提供自動表面平整化處理功能
提供階高標準片的軟件自校功能
深度/高度分析功能提供線型分析與區域分析等兩種方式
線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（roughness）和起伏度 （waviness）的量測分析.可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據
區域分析方式提供圖形分析與統計分析.具有平滑化,銳化與數字濾波等多種二維快速傅利葉轉換（FFI）處理功能
量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是以Excel文本文件格式輸出.

關鍵詞：納米精度3D測試儀，表面粗糙度（roughness），起伏度 （waviness），白光干涉儀