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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>去膠機>PLUTO-MD(8L) 小型等離子去膠機廠家

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PLUTO-MD(8L) 小型等離子去膠機廠家

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上海沛沅儀器是一家集等離子體技術設計、制造、產品開發、銷售與服務于一體的技術型企業,公司致力于提供專業的等離子表面處理系統,比如等離子清洗機,等離子去膠機,等離子刻蝕機,實驗室等離子處理機等,向用戶提供國內等離子表面處理設備和優質專業的服務。

公司技術團隊67%以上具備碩士或碩士以上學位,公司由長期從事等離子體應用技術研究開發、多次參與國家重大科學工程研究的專家和產業化專家聯合創建,提供一系列等離子體表面處理系統、等離子體刻蝕系統、常壓等離子清洗設備等,并與中科院上海應用物理研究所,復旦大學,中國科技大學,上海科技大學,上海交通大學等建立了密切的技術合作交流關系。

 

公司的愿景是成為等離子體應用領域的優質供應企業,用科研的沉淀和應用的創新,為中國的制造業崛起和化戰略貢獻一份力量。

 

 

 

 

等離子清洗機,真空等離子清洗機,等離子去膠機,等離子表面處理機,等離子刻蝕機,實驗室等離子清洗機,小型等離子清洗機,大氣等離子清洗機,等離子鍍膜機

等離子去膠機

          PLUTO-MD(8L)小型等離子去膠機介紹:
 
  去膠工藝是微加工過程中一個重要的過程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對光刻膠進行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對樣片是否有損傷等問題,將直接影響后續工藝的順利完成。PLUTO-MD使用性能出色的組件和軟件,可對工藝參數進行精確控制。它的工藝監測和數據采集軟件可實現嚴格的質量控制。該技術已經成功的應用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領域。

等離子去膠機

 

等離子去膠機

 
  PLUTO-MD(8L)小型等離子去膠機特點:
 
  1. 桌面型,普通實驗臺即可安置。操作簡便上手快、使用成本極低、易于維護。
 
  2.適合于4~6寸硅片及相同面積去膠,可選配硅片專用托盤。
 
  3.內置雙層氣浴電極,有效提高清洗效率。配有節流閥,防止真空泵油霧回流。可選配耐用電極,降低長時間使用后的腔體污染。
 
  4.配置200W/13.56MHz等離子發生器。兼顧物理作用和化學作用。
 
  5.具備前后吹掃功能,保證樣品處理潔凈度,可配置獨立吹掃氣路。
 
  6.可選配電極間距可調,對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和表面改性。
 
等離子去膠機

           PLUTO-MD(8L)小型等離子去膠機參數:
 
等離子去膠機參數

           
        小型等離子去膠機應用: 
等離子去膠機


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