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8英寸晶圓是如何進行厚度測試的?回放

2023-09-08 16:15:00610
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CHY-C2晶圓測厚儀

CHY-C2晶圓測厚儀采用機械接觸式測量方式,嚴格按照GB/T 6618標準要求設計,有效保證了測試的規范性和準確性。專業適用于8英寸/12英寸晶圓板、硅片厚度精確測量,同時也滿足塑料薄膜、無紡布、銅箔、金屬鍍層、薄片、隔膜、紙張、箔片等材料的厚度測量。

技術特征

l 搭載7寸IPS觸控屏,采用進口MEAS差動電感式位移傳感器分辨率0.1um.

l 測試過程按用戶設定程序,測量頭自動升降測量,測量數據自動打印

l 支持同組數據100個測量點數據采集,支持500組數據存儲/查詢

l 支持多級用戶權限管理,測試數據歷史記錄可查詢,可審計追蹤。

l 實時顯示測量結果的最大值、最小值、平均值以及標準偏差等分析數據,方便用戶進行判斷

l 配置標準量塊用于系統標定,保證測試的精度和數據一致性

l 可選配自動進樣裝置,實現無人工操作,系統全自動測量

l 配備USB接口專業測控軟件、可通過軟件操控儀器完成各項測量

測試標準 該設備滿足多項國家和國際標準:GB/T 6618-2009ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、GB/T 6672、GB/T 451.3、 GB/T 6547、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、 BS 3983、BS 4817GB/T 24218.2

技術指標

測試范圍 0~2 mm(常規) 0~6 mm(可選)

分辨率 0.1 μm

重復誤差:±0.3um

臺面有效尺寸:340mm*480mm

接觸面積 50 mm2標配1.77 mm2可選注:非標可定制

測量壓力:17.5KPa 注:非標可定制

測量頭直徑:8mm(標配)1.5mm可選注:非標可定制

電源 AC 220V 50Hz

外形尺寸 630 mm(L)× 340 mm(W)×350 mm(H)

凈重 35 kg

產品配置:主機、標準量塊一件、專業軟件、通信電纜、測量頭



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