場發射分熱場和冷場，共性是分辨率高。熱場的束流大些，適合進行分析，但維護成本相對較高，維護要求高。冷場做表面形貌觀測是適合的，相對而言維護成本低些，維護要求不算高。冷場發射電子槍優點：單色性好，分辨率高缺點：電子槍束流不穩定，束流小，不適合做能譜分析，每天要做一次Flash熱場發射電子槍優點：電子束穩定，束流大缺點：與冷場相比除了單色性和分辨率略差點外，其它找不出缺點。熱場在總發射電流（Total emission current）、zui大探針電流（Maximum probe current）、電子束噪聲（Beam noise）、發射電流漂移（Emission current drift）、工作真空（Operating vacuum）、陰極還原（Cathode regeneration）、對外部影響的敏感性（Sensitivity to external influence）等方面都具有一等的優勢。這些參數直接影響電鏡的性能。在陰極半徑（Cathode radius）、有效電子源半徑（Effective source radius）、發射電流密度（Emission current density）、標準亮度（Normalised brightness）等方面，冷場發射略勝*。這幾個參數總起來說就是冷場發射陰極的發射面積較小、能量集中，便于將電子束聚焦于一個很小的點，以提高分辨率。但是在現代的電鏡技術條件下，熱場發射電鏡通過采取各種有效措施，也能夠將電子束匯聚于一個理想的點，達到冷場發射電鏡的分辨率水平。熱場發射電鏡主要的一個缺點是燈絲（陰極）壽命較短，給定壽命2000小時，實際可用3年左右。而冷場發射陰極壽命相對較長，且更換費用較低。