在NH₄OH的分析中，待測元素主要受到來自Ar的質譜干擾，如⁴⁰Ar⁺對⁴⁰Ca⁺，⁴⁰Ar¹⁶O⁺對⁵⁶Fe⁺，³⁸Ar¹H⁺對³⁹K⁺的干擾等。雖然Ca和Fe有其他同位素可供選擇，但樣品里上述兩種元素含量非常低，想要測試結果更加準確，必須選擇靈敏度更高的同位素。另外，Pt也是客戶關注的元素之一，為了降低元素的背景，使用的是Pt采樣錐及截取錐，可能會導致Pt背景偏高。

儀器配置如下表：

表1.儀器配置

下圖展示了在29% NH₄OH測試過程中受Ar原子質譜干擾的K、Ca、Fe，以及受到鉑錐影響Pt的標準曲線，各元素的線性相關系數均達到0.999以上；其余待測元素的線性相關系數也在0.999以上，能夠保證測試結果的準確度良好。    

圖1.K、Ca、Fe、Pt標準曲線（點擊查看大圖）

根據SEMI的指南對29% NH₄OH樣品進行了加標回收率，SEMI要求所有元素的加標回收率均需在75-125%之間。本次測試所有待測元素的加標濃度為10ppt，滿足SEMI要求，所有元素加標回收率均在90-110%之間，測試結果如下表：

表2.各元素檢出限、背景等效濃度及回收率

（點擊查看大圖）

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為了驗證儀器測試29% NH₄OH的穩定性，連續分析了加標20ppt的29% NH₄OH近5個小時，結果顯示所有待測元素的RSD值均在5%以內，穩定性能良好，所有元素的穩定性圖如下。良好的穩定性是基于優異的硬件設計，NexION 5000使用的：

圖2.各元素穩定性（點擊查看大圖）

NexION 5000能夠直接測試29% NH₄OH，具有專利技術的四極桿通用池能夠徹底消除測試過程中遇到的質譜干擾；在樣品品質達到的情況下，所有待測元素的測試結果均在10ppt以內，滿足SEMI G5的等級。儀器優異的硬件設計保證了測試過程優異的穩定性，保證測試可以準確、高效的進行。