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半導(dǎo)體(蝕刻液)CT-1Plus自動電位滴定儀測定混酸含量——硝酸氫氟酸

來源:廣州瑞豐實驗設(shè)備有限公司   2025年07月22日 11:12  

關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體/硅蝕刻/蝕刻液

行業(yè):半導(dǎo)體/蝕刻液

CT-1Plus自動電位滴定儀測定混酸含量——硝酸氫氟酸

摘要

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,刻蝕技術(shù)是實現(xiàn)微電子器件精細(xì)加工的關(guān)鍵步驟之一。半導(dǎo)體濕法刻蝕工藝,簡稱濕法刻蝕,是一種通過化學(xué)溶液來去除晶圓表面特定材料層的技術(shù)。這種工藝?yán)没瘜W(xué)反應(yīng)來精確地控制材料的形狀和尺寸,以滿足半導(dǎo)體器件的制造要求。本文主要介紹通過CT-1Plus自動電位滴定儀來測試硝酸/氫氟酸蝕刻液體系的含量。

儀器配置

●CT-1Plus電位滴定儀

●pH102電極(or銻電極)

●20mL高精度計量管

●100mL滴定杯 試劑配置

●滴定劑:氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液

●滴定度:0.5111mol/L

●溶劑

測定方法

●酸堿滴定/電位滴定

●稱取適量試樣于燒杯中,加50mL溶劑溶解,攪拌均勻,插入電極,選用蝕刻液測試方法,用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液滴定到終點

儀器參數(shù)

● 最小滴定體積:10μL  

● 最大滴定體積:100μL

● 攪拌速度:200        

● 每滴間隔:1500ms

● 終點模式:微分判定   

● 微分設(shè)置:200

測試數(shù)據(jù)

● 環(huán)境溫度:20℃ ● 環(huán)境濕度:46%  

● 測試時間:2min  

次序

樣品質(zhì)量/g

試劑消耗/mL

測量結(jié)果/%

均值/%

1-1

0.5634

3.6071/6.4735

20.62%/5.20%

20.72%/5.17%

1-2

0.5440

3.5215/6.2491

20.84%/5.13%

測試結(jié)果:經(jīng)測試,蝕刻液的硝酸濃度約為20.72%,氫氟酸濃度約為5.17%。


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