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Fischione 1061 型 SEM 研磨機(離子研磨)

來源:山金工業(深圳)有限公司   2025年07月16日 22:43  

Fischione 1061 型 SEM 研磨機(離子研磨)

Fischione 1061 型 SEM 研磨機(離子研磨)

Fischione 1061 型 SEM 研磨機(離子研磨)

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產品代碼: 型號1061

制造商: Fischione

 限度的維護 - 

 由于電離效率高,TrueFocus 離子源的維護成本極低,組件使用壽命極長。離子源濺射的物質幾乎可以忽略不計,從而最大限度地減少了樣品污染和組件維護。自動關閉功能可防止濺射物質在觀察窗上堆積。所有系統組件均可輕松進行日常清潔。

可編程 - 樣品可360°旋轉,轉速可調,并具有樣品搖擺功能。儀器自動感應樣品厚度并確定研磨平面,從而最大限度提高處理量。磁編碼器提供絕對定位精度。

自動終止—— 離子銑削過程可以根據經過的時間或溫度自動終止。 

時間 - 計時器允許研磨持續預定時間,并在時間到后關閉離子源電源。樣品保持真空狀態,直到負載鎖排氣。 

溫度 - 如果樣品階段達到預設溫度,與樣品冷卻系統相關的熱保護裝置將停止該過程。 

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描述

橫截面工作站(選配)

用于創建原始橫截面樣品的工具,用于在SEM研磨機中進行離子研磨。該工作站設計用于容納各種尺寸的樣品,并能夠精確定位目標區域,適用于各種材料,包括半導體器件、多層膜、陶瓷以及硬脆材料。

現場 樣品觀察 使用可選的立體顯微鏡或高倍顯微鏡可以在銑削位置現場

監測離子銑削過程 。

可選配的立體顯微鏡(7 至 45 倍)可增強樣品觀察效果。顯微鏡的長工作距離允許在銑削過程中現場觀察樣品。 

SEM Mill 可配置 1,960 倍高倍顯微鏡,并配備 CCD 攝像頭和視頻監視器,用于在研磨過程中實時觀察樣品并捕捉圖像。該系統非常適合現場制備樣品。 

觀察窗受百葉窗保護,可防止濺射物質的積聚干擾樣品觀察。 

集成式臺面冷卻(可選)

雖然低角度研磨和低離子束能量可以降低樣品加熱,但對溫度敏感的樣品可能需要進一步冷卻。SEM 研磨機的液氮系統在外殼內配備一個杜瓦瓶,該杜瓦瓶 集成并互鎖,可有效消除熱致偽影。

真空或惰性氣體轉移艙(可選)

可選真空艙允許您在真空或惰性氣體下將樣品轉移到 SEM。

網絡研討會:

點擊此處- 通過寬離子束銑削進行先進的樣品制備,用于 EBSD 分析

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