Surtronic S - 116 采用差動電感式位移傳感器,這一技術是實現高精度測量的基石。其工作原理基于電磁感應現象,當帶有金剛石測針的傳感器在被測表面移動時,測針隨表面微觀輪廓的起伏而上下位移。這種位移變化會導致傳感器內部電感量的改變,通過精密的電路將電感變化轉換為電信號輸出。測針垂直分辨率高達 5nm,能敏銳捕捉到表面極其細微的高度變化,線性度誤差≤±0.1% FS,為精準測量提供了堅實保障,嚴格滿足 ISO 4287:2017 標準對 Ra 參數的計量級測量要求。標準配置的金剛石測針針尖半徑為 5μm,同時還提供 2μm/10μm 規格可選,可根據不同測量需求靈活適配,如在測量超精密表面時,2μm 針尖半徑的測針能更細膩地反映表面微觀特征。
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