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寶帝burkert流體精準調控,半導體制造的 “隱形助手”

來源:上海韋信自動化設備有限公司   2025年06月09日 15:01  


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半導體制造中使用液態、氣態、超純至高腐蝕性流體。這包括超純水、液態冷卻介質,還包括酸或堿,例如氫氟酸、鹽酸或硫酸以及氫氧化鈉溶液或溶劑。各種液體特性(例如溫度、流量、電導、pH 值)的精準測量和調控對于半導體制造至關重要。













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根據客戶的需求定制系統,Bürkert 涵蓋了整個半導體制造工藝過程中從單個產品組件到實現 精準調控的緊湊型系統解決方案,再到實現工藝過程的自動化、數字化。從空間要求、安裝條件以及機械、電氣和通信接口,無論是單個產品還是整體系統都可以wan美適配您的半導體工藝流程。

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