ULVAC愛發(fā)科

油擴(kuò)散泵

什么是油擴(kuò)散泵？

　這是一種動量輸送泵，利用油蒸氣噴射為氣體分子提供動量，將其輸送至排氣口并排出。

油擴(kuò)散泵的特點(diǎn)

　油擴(kuò)散泵由一個鍋爐（用于加熱油并產(chǎn)生蒸汽）、一個形狀像傘狀的噴嘴（噴射器）（用于向特定方向噴射蒸汽）和一個冷側(cè)（用于冷凝蒸汽）組成。盡管其結(jié)構(gòu)簡單，但因其具有較高的抽速而聞名。它不能單獨(dú)使用，必須與油旋轉(zhuǎn)真空泵或類似泵配合使用作為輔助泵。

【優(yōu)點(diǎn)】結(jié)構(gòu)簡單，排氣速度快。

【缺點(diǎn)】高真空側(cè)有油蒸氣回流。

油擴(kuò)散泵的工作原理

　裝置底部的油被加熱器加熱并變成蒸汽。當(dāng)蒸汽以超音速從噴射段噴出時(shí)，氣體被從上部噴射段推至下部噴射段，并被攜帶至排氣口。以蒸汽形式噴出的油在主體內(nèi)壁冷卻凝結(jié)，然后又恢復(fù)為油的原始狀態(tài)。

油擴(kuò)散泵的主要用途

　FPD制造設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空蒸餾、凈化脫氣、滅菌、干燥、脫水、消毒等。

油擴(kuò)散泵應(yīng)用行業(yè)：

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域、化工、制藥、食品行業(yè)、石油化工行業(yè)、

電力行業(yè)、冶金行業(yè)、新能源領(lǐng)域、醫(yī)療行業(yè)

1  ?FPD制造設(shè)備中油擴(kuò)散泵用于獲得高真空環(huán)境，特別是在以下幾個關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)：

刻蝕?：用于去除硅片表面的材料。

鍍膜?：用于創(chuàng)造高真空環(huán)境，以確保薄膜的均勻沉積和良好的附著力。這對于制造高質(zhì)量的集成電路和芯片至關(guān)重要?。

?晶圓加工?：在晶圓加工過程中，油擴(kuò)散泵提供的真空環(huán)境有助于控制晶圓的傳輸和處理，確保加工過程的穩(wěn)定性和可靠性?

單晶硅制造?：在單晶硅的生長過程中，高真空環(huán)境有助于減少雜質(zhì)和缺陷的形成，提高晶體的質(zhì)量。

等離子處理?：在等離子處理中，油擴(kuò)散泵提供的高真空環(huán)境有助于提高等離子體的穩(wěn)定性和均勻性，從而優(yōu)化處理效果?。

2 真空蒸餾油擴(kuò)散泵通過降低系統(tǒng)壓力，促使液體在較低溫度下沸騰，從而分離混合物中的不同組分。這種設(shè)備在工業(yè)領(lǐng)域中起著關(guān)鍵作用，廣泛應(yīng)用于化工、制藥和食品等行業(yè)。??

3 凈化脫氣油擴(kuò)散泵主要應(yīng)用于以下行業(yè)?：

石油化工?：在石油化工行業(yè)中，油擴(kuò)散泵用于石油產(chǎn)品的脫氣處理，以提高產(chǎn)品的純度和質(zhì)量。例如，在潤滑油生產(chǎn)過程中，脫氣處理可以去除油中的氣體和雜質(zhì)，確保潤滑油的性能穩(wěn)定?。

?電力?：在電力行業(yè)中，油擴(kuò)散泵用于變壓器油的脫氣處理。變壓器油在運(yùn)行過程中會吸收水分和氣體，影響其絕緣性能。通過脫氣處理，可以恢復(fù)其絕緣性能，確保電力設(shè)備的正常運(yùn)行?。

?冶金?：在冶金行業(yè)中，油擴(kuò)散泵用于鋼鐵生產(chǎn)過程中的脫氣處理。去除鋼鐵生產(chǎn)中的氣體雜質(zhì)可以提高產(chǎn)品的質(zhì)量和純度，滿足高標(biāo)準(zhǔn)的冶金要求?。

?新能源?：在新能源領(lǐng)域，特別是太陽能和風(fēng)能設(shè)備中，油擴(kuò)散泵用于潤滑油的脫氣處理。高性能的潤滑油需要低氣體含量的基礎(chǔ)油，以確保設(shè)備的長期穩(wěn)定運(yùn)行。

4 油擴(kuò)散泵在滅菌、干燥、脫水、消毒等領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在醫(yī)療、化工、食品加工等行業(yè)。?

醫(yī)療行業(yè)

在醫(yī)療行業(yè)中，油擴(kuò)散泵主要用于真空干燥和消毒滅菌設(shè)備。例如，真空干燥箱和真空滅菌器常使用油擴(kuò)散泵來提供高真空環(huán)境，確保醫(yī)療設(shè)備和藥品的干燥和滅菌效果。這些設(shè)備在手術(shù)室、實(shí)驗(yàn)室和藥品生產(chǎn)中起著關(guān)鍵作用，確保無菌操作和環(huán)境控制?。

化工行業(yè)

在化工行業(yè)中，油擴(kuò)散泵用于各種化學(xué)反應(yīng)和分離過程，特別是在高真空條件下進(jìn)行的高純度化學(xué)品生產(chǎn)和精煉過程中。通過提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境，油擴(kuò)散泵有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量和工藝效率?。

食品加工行業(yè)

在食品加工中，油擴(kuò)散泵用于真空脫水處理，幫助去除食品中的水分，延長保質(zhì)期并改善產(chǎn)品質(zhì)量。例如，真空脫水技術(shù)在果蔬干燥、肉類加工和調(diào)味品生產(chǎn)中廣泛應(yīng)用，確保食品的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)和延長保存時(shí)間?。

具體應(yīng)用案例

?醫(yī)療設(shè)備?：如真空干燥箱和真空滅菌器，使用油擴(kuò)散泵提供高真空環(huán)境，確保醫(yī)療設(shè)備和藥品的干燥和滅菌效果。

?化工反應(yīng)器?：在高真空條件下進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)和分離過程，提高化學(xué)品的純度和生產(chǎn)效率。

?食品加工設(shè)備?：如真空脫水機(jī)，用于去除食品中的水分，延長保質(zhì)期并改善產(chǎn)品質(zhì)量。?

 ?