ULVAC愛發科

多級羅茨干式真空泵

什么是多級羅茨干式真空泵？

　多級羅茨真空泵是一種在真空室中不使用油或液體的機械真空泵。

多級羅茨干式真空泵的特點

　羅茨干式真空泵是一種集成多級機械增壓泵的干式真空泵。采用三葉轉子的羅茨式干式真空泵，在一根軸上連接有多個轉子，可以壓縮并排出空氣直至大氣壓。轉子殼內不使用油等密封液，排氣干凈。齒輪和軸承的潤滑采用油，但設計了密封結構以防止油進入殼體。

【優點】可獲得潔凈的真空，從大氣壓到極限壓力均可使用。

【缺點】容積效率比接觸泵差。

多級羅茨干式真空泵的工作原理

氣體由高速旋轉的轉子輸送

　該泵在一個稱為殼體的盒子內有兩個三葉轉子（旋轉體），它們通過一對齒輪以相同的速度沿相反方向旋轉。轉子之間、轉子與殼體之間并不接觸，而是保持較小的間隙旋轉，以輸送和壓縮氣體。轉子采用多級結構，將氣體壓縮至大氣壓，并排入大氣。

多級羅茨干式真空泵的主要用途

FPD制造設備、半導體制造設備、真空蒸餾、凈化脫氣、滅菌、干燥、脫水、消毒等。

CVD裝置、蝕刻裝置、灰化裝置、ALD、ALH等，PVD工藝

應用

空氣、惰性氣體等清潔氣體的真空排氣

各種成膜設備裝料室、卸料室的排氣

真空干燥、真空氣體置換、真空脫氣等一般工業應用

真空絕熱、充氣等真空氣體置換

應用行業：

FPD、電子、半導體領域等。

化工、制藥、太陽能光伏、食品和醫療等領域。?

CR系列風冷羅茨式干式真空泵

用途：

應用

空氣、惰性氣體等清潔氣體的真空排氣

真空干燥等水蒸氣排放（需使用氣鎮）

用于濺射、沉積等的真空設備。

LR系列應用

成膜設備（濺射設備/蒸鍍設備等）

縮短準備和取出室的排氣時間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵和機械增壓泵的輔助排氣）