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美國 API 激光干涉儀的應用領域剖析

來源:篤摯儀器(上海)有限公司   2025年05月29日 15:21  
美國 API 激光干涉儀的應用領域剖析


美國 API 激光干涉儀憑借其高精度、高可靠性等特性,在多個關鍵領域發揮著至關重要的作用。


在航空航天領域,從飛機發動機制造到飛行器結構件加工,API 激光干涉儀無處不在。飛機發動機的葉片制造精度直接影響發動機的效率與安全性,API 激光干涉儀可精確檢測葉片型面誤差,確保葉片符合設計要求,保障發動機穩定運行。飛行器機身結構件的裝配精度同樣關鍵,它能測量裝配過程中的位置誤差、平面度誤差等,為飛行器的整體性能和飛行安全提供保障。


半導體行業對精度的追求達到了很高,API 激光干涉儀成為該行業的得力助手。在芯片制造的光刻工藝中,需要將電路圖案精確地刻在硅片上,激光干涉儀用于校準光刻機的運動精度,確保芯片上電路線條的寬度和間距符合設計標準,對于提高芯片的集成度和性能起著決定性作用。在半導體設備制造中,如晶圓劃片機、鍵合機等,API 激光干涉儀用于檢測設備關鍵部件的運動精度,保證設備在高速、高精度的工作狀態下穩定運行。


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