半導體制造涉及清洗、蝕刻、光刻等多道工藝，其中含氯化學品（如三氯化硼、四氯化硅）的使用廣泛。這些工藝過程中，若氯氣（Cl?）未反應或發生泄漏，將直接危害人員健康與設備安全。根據《GBZ 2.1-2019 工作場所有害因素職業接觸限值》，氯氣的8小時加權平均容許濃度（TWA）僅為0.5ppm，短時間接觸容許濃度（STEL）為1ppm；當濃度超過10ppm時，30分鐘暴露即可致命[2]。此外，氯氣若未有效處理直接排放，還會腐蝕設備、污染大氣，違反環保法規。因此，對氯氣的實時監測與精準管控，是半導體企業安全生產與環保達標的核心需求。

針對半導體行業高濕、微腐蝕、需24小時連續監測的復雜環境，深國安電子推出了SGA-500系列、SGA-501系列等多款氯氣檢測儀，從硬件到功能均進行了專項優化[?]：

• 防爆抗腐，適應嚴苛環境：設備采用工業級鋁合金防爆外殼（防爆等級ExdⅡCT6 Gb），搭配IP67防護設計與納米涂層技術，可抵御酸霧、水汽的侵蝕；針對半導體車間可能存在的高溫環境（如800℃工藝段），還可選配專用高溫探桿，確保穩定運行[?]。

• 高精度檢測，數據可靠：內置國外進口電化學傳感器，配合32位納米級微處理器與24位超高ADC采集芯片，支持ppb級精度檢測；全量程溫濕度補償功能，避免環境溫濕度波動對數據的干擾，保障長期監測的穩定性[2]。

• 智能聯動，風險快速處置：設備支持4-20mA、RS485等多種信號輸出，兼容90%以上PLC、DCS等上位機系統；內置2組無源觸點繼電器，當氯氣濃度超標（如超過0.5ppm TWA）時，可自動聯動風機、噴淋系統或切斷閥，實現“檢測-報警-處置”閉環，將泄漏風險控制在萌芽狀態[?]。

• 遠程管理，提升運維效率：通過GPRS、WIFI等無線傳輸技術，監測數據可實時上傳至深國安物聯網平臺，管理人員通過手機APP或電腦即可遠程查看濃度曲線、歷史記錄及報警信息；設備還具備智能校準提醒、傳感器壽命預警等功能，減少人工巡檢成本