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光刻膠烘箱的典型結構

來源:愛義信工業科技(上海)有限責任公司   2025年05月26日 14:42  
  • 1. 加熱系統

  • 加熱方式:

    • 熱板接觸式:直接傳導加熱(適用于單片晶圓,溫度均勻性高)。

    • 熱風循環式:對流加熱(適合批量處理,需優化氣流分布)。

    • 紅外輻射式:非接觸加熱(減少機械應力,用于柔性基板)。

  • 控溫元件:

    • PID算法+鉑電阻(RTD)或熱電偶(T/C),閉環控制精度±0.1℃。

  • 2. 送風系統

  • 層流設計:垂直單向流(Downflow)確保潔凈度,風速0.3~0.5 m/s。

  • 風量調節:變頻風機按工藝階段調整風量(如升溫階段高風量,保溫階段低風量)。

  • 3. 腔體與載具

  • 材質:不銹鋼316L或鋁合金(表面陽極氧化),耐化學腐蝕。

  • 載具類型:

    • 石英舟(耐高溫,用于SiC/GaN器件)。

    • 聚醚醚酮(PEEK)托盤(防靜電,用于有機光刻膠)。

  • 4. 控制系統

  • 多段程序控溫:支持10~20段溫度曲線(如前烘:90℃/60s → 110℃/120s)。

  • 數據追溯:記錄溫度、氧含量、壓力等參數,符合SEMI S2/S8標準。

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