手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
半導(dǎo)體裂片機(jī)的優(yōu)點(diǎn)分析
半導(dǎo)體裂片機(jī)（又稱半導(dǎo)體劃片機(jī)、切割設(shè)備）是半導(dǎo)體制造過(guò)程中用于晶圓切割（DieSaw）的關(guān)鍵設(shè)備，其作用是將制造完成的晶圓（Wafer）沿預(yù)設(shè)的切割道（Street）分割成獨(dú)立的芯片（Die）。以下從技術(shù)特性、生產(chǎn)效率、加工精度、適用場(chǎng)景等方面分析其核心優(yōu)點(diǎn)：
一、高精度切割，確保芯片完整性
1.亞微米級(jí)切割精度
采用金剛石刀片（厚度低至20μm以下）或激光切割技術(shù)，配合高精度伺服電機(jī)和線性導(dǎo)軌，切割偏差可控制在±2μm以內(nèi)，避免損傷芯片內(nèi)部電路。
案例：在5G芯片、先進(jìn)封裝（如FanOut、SiP）中，芯片間距（Pitch）已縮小至50μm以下，裂片機(jī)的高精度是保證良率的關(guān)鍵。
2.低應(yīng)力切割技術(shù)
通過(guò)優(yōu)化刀片轉(zhuǎn)速（最高可達(dá)6萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘）、切割路徑規(guī)劃（如分步切割）和冷卻系統(tǒng)（去離子水或氣流冷卻），減少切割應(yīng)力導(dǎo)致的芯片裂紋或分層。
應(yīng)用：對(duì)脆性材料（如GaN、SiC等第三代半導(dǎo)體）或薄晶圓（厚度＜100μm）的切割尤為重要。
二、高效量產(chǎn)，提升產(chǎn)能與良率
1.高速切割與自動(dòng)化流程
單次晶圓切割時(shí)間可縮短至10分鐘以內(nèi)（以12英寸晶圓為例），配合全自動(dòng)上下料系統(tǒng)（如機(jī)械手臂+真空吸附），實(shí)現(xiàn)24小時(shí)連續(xù)作業(yè)。
對(duì)比傳統(tǒng)手工切割（效率低、良率波動(dòng)大），量產(chǎn)場(chǎng)景下效率提升50倍以上，良率穩(wěn)定在99%以上。
2.多刀片并行切割（MultiBlade）
部分高端設(shè)備支持多軸聯(lián)動(dòng)，同時(shí)安裝24片刀片，同步切割多列芯片，進(jìn)一步提升單位時(shí)間產(chǎn)能。
適用場(chǎng)景：消費(fèi)電子芯片（如手機(jī)SoC、存儲(chǔ)器）的大規(guī)模量產(chǎn)。
三、柔性加工，適應(yīng)多樣化需求
1.兼容多種材料與工藝
可切割硅基晶圓（Si）、化合物半導(dǎo)體（GaAs、InP）、陶瓷基板、玻璃晶圓等，支持不同厚度（50750μm）和直徑（412英寸）的晶圓。
工藝擴(kuò)展：除常規(guī)切割外，還可實(shí)現(xiàn)開(kāi)槽（Grooving）、倒角（Chamfering）、背面減薄預(yù)處理等功能。
2.先進(jìn)封裝適配能力
在先進(jìn)封裝技術(shù)中（如FlipChip、2.5D/3D封裝），裂片機(jī)可完成超薄芯片（＜50μm）切割、異構(gòu)集成芯片分割等復(fù)雜需求，支持晶圓級(jí)封裝（WLP）和面板級(jí)封裝（PLP）。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購(gòu)中心