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無塵室氮氣柜的結構組成及具體操作流程

來源:愛義信工業科技(上海)有限責任公司   2025年05月12日 13:13  

無塵室氮氣柜是一種用于存儲和管理敏感電子元件、半導體晶圓、精密儀器等物品的設備,能夠提供一個無塵且低濕度的環境,以防止物品受到污染或氧化。這種設備通常使用純凈的氮氣來置換柜內的空氣中的氧氣和水分,從而保持內部的環境穩定。工作原理基于氮氣的特性,即不活躍、不易與其他物質反應。通過向柜內充入高純度的氮氣,可以顯著降低柜內的氧氣和水分含量,從而防止氧化和濕氣對敏感物品的影響。同時,無塵室內的環境控制確保了柜外的污染物不會進入柜內,保護了內部的物品。

無塵室氮氣柜的主要組成部分:
  1.密封柜體:提供一個封閉的空間,以保持內部的無塵環境。
  2.氮氣供應系統:包括氮氣瓶或氮氣生成器,以及調節和輸送氮氣的管道和閥門。
  3.控制系統:用于監測和調節柜內的溫濕度、氮氣流量和壓力等參數。
  4.HEPA過濾器:過濾進入柜內的空氣中的微粒,確保無塵環境。
  5.除濕裝置:進一步降低柜內的濕度,防止潮濕對物品的影響。
  操作流程:
  1.將需要存儲的物品放入氮氣柜內。
  2.關閉柜門并確保密封良好。
  3.啟動氮氣供應系統,向柜內充入高純度的氮氣。
  4.通過控制系統監測柜內的氧氣和水分含量,確保達到所需的環境標準。
  5.定期檢查氮氣柜的性能,包括密封性、過濾器的清潔度和氮氣供應系統的運行狀況。
  無塵室氮氣柜的維護與保養:
  1.定期更換或清潔HEPA過濾器,確保無塵環境。
  2.檢查氮氣供應系統,確保氮氣的連續和穩定供應。
  3.校準控制系統,確保準確的環境監測和調節。
  4.檢查柜體的密封性,防止外部污染物進入。

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